[实用新型]喷枪固定式旋转靶材喷涂装置

权利要求书

1.喷枪固定式旋转靶材喷涂装置，包括机座(1)、密闭喷涂仓(2)、靶材背管(3)、固定式喷枪(4)、气管(5)和送粉管(6)，其特征是：机座(1)上安装固定式喷枪(4)，在固定式喷枪(4)上安装有气管(5)和送粉管(6)，在机座(1)上固定式喷枪(4)喷射方向前方垂直安装靶材背管(3)，同时，在机座(1)上靶材背管(3)外安装密闭喷涂仓(2)，而且，固定式喷枪(4)固定安装在机座(1)上，靶材背管(3)在固定式喷枪(4)上方线性移动并且绕靶材背管(3)中轴线匀速转动。

2.如权利要求1所述的喷枪固定式旋转靶材喷涂装置，其特征在于，靶材背管（3）在固定式喷枪（4）喷射方向前方垂直方向上做往复线性移动且轨迹固定。

3.如权利要求1所述的喷枪固定式旋转靶材喷涂装置，其特征在于，靶材背管（3）与机座（1）之间通过传动系统连接。

4.如权利要求1所述的喷枪固定式旋转靶材喷涂装置，其特征在于，密闭喷涂仓（2）安装于机座（1）上，密闭喷涂仓（2）内通入惰性气体。

5.如权利要求1所述的喷枪固定式旋转靶材喷涂装置，其特征在于，制备低氧含量的纯硅靶材；喷涂用硅粉：纯度≥99.95% ，粒度：50-300Mesh；靶材背管（3）规格：长度3191毫米，内径125毫米，外径133毫米；靶材背管（3）旋转速度：50转/分钟 ；靶材背管（3）水平移动速度500毫米/分钟；密闭喷涂仓（2）内保护气体通入量：50L/分钟；最后获得靶材: 靶材密度:95%,理论密度为2.3g/cm³,含氧O₂量 1000ppm (Wt%)。