[实用新型]电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的装置

权利要求书

1.一种电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的装置，包括炉体，其特征在于炉体中设有电子束熔炼组件和定向凝固组件，其中：

电子束熔炼组件包括位于炉体内上部的带有水冷的熔化坩埚，该熔化坩埚一侧带有凹形熔化池，熔化池口至熔化坩埚的另一侧为向下倾斜的导流区域；位于熔化坩埚上方的炉体顶部通连有熔化用电子枪和熔炼用电子枪，位于熔化坩埚的熔化池一侧的炉体侧壁通连有送料机构，该送料机构的出料口位于熔化池上方；

定向凝固组件包括位于炉体下部的凝固坩埚，凝固坩埚向外依次包围设置有石墨发热体和保温套筒，凝固坩埚底部设置有与炉体底部通连的水冷拉锭旋转机构，其中，该凝固坩埚位于导流区域的倾泻口的下方，且倾泻口正下方位置相对应的保温套筒处开设有通孔。

2.根据权利要求1所述的电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的装置，其特征在于熔化坩埚为带有水冷的铜坩埚。

3.根据权利要求1所述的电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的装置，其特征在于凝固坩埚为石英坩埚。

4.根据权利要求1所述的电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的装置，其特征在于导流区域内开设有导流凹槽。