[实用新型]真空镀膜机内壁和内壁板的安装结构有效
| 申请号： | 201320531550.7 | 申请日： | 2013-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN203440435U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 李龙哲;沈聚丰;王洪彬;孙海澄;李顺立 | 申请（专利权）人： | 上海哈呐机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200540 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 内壁 壁板 安装 结构 | ||
【权利要求书】：
1.真空镀膜机内壁和内壁板的安装结构，其特征在于：它包含内壁和内壁板，所述内壁上设有卡扣装置和定位柱，所述卡扣装置包括防污染垫，防污染垫上设有插孔座，插孔座上设有弹簧固定端，弹簧固定端连接弹簧一端，弹簧另一端连接插针；所述内壁板上设有定位孔和固定孔。
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