[实用新型]一种多线切割机装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及同步带轮制造设备领域，特别是涉及一种多线切割机装置。

背景技术

多线切割技术是目前比较先进的硅片加工技术，被世界范围内绝大多数硅片生产厂家所采用。其原理是将一根极细的钢线相互平行的缠绕在两个或多个导线轮上形成一个水平的切割线网（钢线间的距离由导线轮槽距决定），切割时导线轮带动线网做高速运动，喷砂嘴持续不断的向线网喷射含有磨料的砂浆（通常为PEG及SiC的混合液），同时工件台以工艺要求的速度以垂直于线网的方向朝着线网运动，线网将磨料带入待加工工件区域对工件进行磨削，以将硅块等硬脆材料切割成数以千计的薄片。

然而，切割过程中可能有废钢线、废硅屑、废无尘纸等杂质进入砂浆，这些杂质可能会随着砂浆进入回流缸中引起回流缸故障，更有甚者这些杂质进一步进入到切割室引起钢线的跳线，严重的甚至断线，引起设备故障、影响硅片切割质量、效率和成品率。

实用新型内容

针对上述现有技术中切割过程产生的杂质进入砂浆，引起回流缸故障、进入切割室后影响钢丝寿命和产品质量的问题，本实用新型提供了一种多线切割机装置。

针对上述问题，本实用新型提供的一种多线切割机装置通过以下技术要点来解决问题：一种多线切割机装置，包括切割室、第三砂浆管道、回流缸、第二砂浆管道、砂浆缸和第一砂浆管道，所述第三砂浆管道的两端分别连接回流缸和切割室，所述第二砂浆管道的两端分别连接回流缸和砂浆缸，所述第一砂浆管道的两端分别连接切割室和砂浆缸，还包括滤网，所述滤网固定连接在第三砂浆管道上。

待切割的硅块在切割室中完成切割，切割过程中使用的砂浆在切割室、回流缸和砂浆缸中循环，回流缸用于沉降砂浆中的杂质，以减少经第一砂浆管道进入切割室中砂浆中杂质的含量，设置的砂浆缸用于储存待用的砂浆液，设置在第三砂浆管道上的滤网，用于过滤每次切割过程中由切割室进入第三砂浆管道中的废钢线、废硅屑、废无尘纸等杂质，减少进入到回流缸中杂质的含量，有利于减少回流缸中杂质的沉降量，从而减少本实用新型在使用时回流缸的清洗次数，还有利于减少砂浆液循环中砂浆液中杂质的含量。

更进一步的技术方案为：

所述第三砂浆管道上设置有垂直于第三砂浆管道轴向方向的槽，所述滤网设置在槽内，滤网和第三砂浆管道呈承插连接。

采用此种滤网与第三砂浆管道的连接方式，有利于在每次硅块切割完成后方便的将滤网取出，清洗滤网后方便的安装滤网。

所述滤网包括滤网本体、呈筒形的保持架、手柄，所述滤网本体固定连接在保持架两端面之间的内壁面上，所述手柄固定连接在保持架的侧面，保持架的两端面上均设置有密封垫。

设置的手柄有利于在取出滤网和安装滤网时操作人员握持滤网方便，设置的密封垫有利于滤网与第三砂浆管道连接面的密封效果。

所述滤网本体的目数在40目至60目范围内，滤网本体的材质为不锈钢。

滤网本体目数范围的设置旨在使滤网本体能阻隔大部分杂质通过而不影响第三砂浆管道的流通能力，材质的选择旨在防止滤网在使用过程中锈蚀，并且不锈钢具有较好的强度和硬度，均有利于延长滤网的使用时间。

所述切割室包括切割室壳体、数量为偶数个的导轮、多条钢线和硅块夹，每个导轮的轴线相互平行，每个导轮分别与一个导轮驱动装置相连，钢线呈相互平行的缠绕在各个导轮之间，且第一砂浆管道位于钢线的正上方，所述硅块夹、导轮和钢线均位于切割室壳体内。

导轮带动钢线快速转动，同时，由第一砂浆管道喷出的砂浆附着在钢线表面，砂浆中的颗粒充当切削刀，同时硅块夹制动硅块向钢线运动，硅块在通过钢线时完成切割；将钢线、导轮和硅块夹设置在切割室壳体以内，有利于防止砂浆溅出切割室。

还包括回流缸泵组和砂浆缸泵组，所述回流缸泵组设置在回流缸上，且回流缸泵组的出口与第二砂浆管道相连，所述砂浆缸泵组设置在砂浆缸上，且砂浆缸泵组的出口与第一砂浆管道相连。

设置的回流缸泵组和砂浆缸泵组分别将回流缸中的砂浆和砂浆缸中的砂浆做功，以分别将回流缸中的砂浆输入砂浆缸，和将砂浆缸中的砂浆输入切割室。

还包括换热器，所述换热器设置在回流缸内。

在硅块切割过程中砂浆的温度会升高，设置的换热器用于降低回流缸中砂浆的温度，以使砂浆的温度保持在一定范围内，防止砂浆粘度变化影响砂浆在钢线上的附着能力。

本实用新型具有以下有益效果：