[实用新型]一种静压支撑高频振动伺服液压缸

权利要求书

1.一种静压支撑高频振动伺服液压缸，其包括缸筒、活塞杆和前、后压盖，所述活塞杆装入缸筒内，且所述活塞杆上设置有与缸筒内孔密封的活塞段，其特征在于，所述缸筒的两端孔口处均设置有轴承套，所述缸筒的一端密封固定有前压盖和法兰，另一端密封固定有后压盖，所述缸筒上安装有伺服阀组，所述伺服阀组通过开设于缸筒上的若干条油道接入液压缸油路，所述活塞杆的后端安装有位移传感器组件。

2.根据权利要求1所述的静压支撑高频振动伺服液压缸，其特征在于，所述活塞段的表面设置有多条阻尼槽，通过所述阻尼槽与缸筒内孔进行阻尼密封。

3.根据权利要求1所述的静压支撑高频振动伺服液压缸，其特征在于，所述位移传感器组件包括安装于后压盖上的安装板，所述安装板上安装高精度位移传感器，所述高精度位移传感器端部的传感器磁环设置于活塞杆内。

4.根据权利要求1所述的静压支撑高频振动伺服液压缸，其特征在于，所述液压缸油路上安装有节流阀，所述节流阀安装于所述轴承套上。

5.根据权利要求1所述的静压支撑高频振动伺服液压缸，其特征在于，所述前、后压盖与活塞杆之间均设置有至少一道密封圈。