[实用新型]区熔热场线圈监测台有效
申请号: | 201320532595.6 | 申请日: | 2013-08-30 |
公开(公告)号: | CN203465066U | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
发明(设计)人: | 靳立辉;姚长娟;闫耀东;卢君;刘旭光;于书翰;王国瑞;贾弘源;张磊 | 申请(专利权)人: | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
主分类号: | G01M3/26 | 分类号: | G01M3/26;G01C9/00;G01B21/00 |
代理公司: | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人: | 胡京生 |
地址: | 300384 天津市滨海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 区熔热场 线圈 监测 | ||
1.一种区熔热场线圈监测台,其特征在于:包括检测台底座(1)、监测台面(2)、进水管(3)、检测台水平调整螺丝(4),所述检测台底座(1)及监测台面(2)均为矩形板状,所述监测台面(2)垂直的固定在检测台底座(1)面上,在检测台底座(1)面上设有三个检测台水平调整螺丝(4),在监测台面(2)上设有数组定位螺栓孔(2-1)和进水孔(2-2),数个所述进水管(3)在监测台面(2)一侧分别与数组中的进水孔(2-2)螺接在一起。
2.根据权利要求1所述的区熔热场线圈监测台,其特征在于:所述数组定位螺栓孔(2-1)和进水孔(2-2)为三组。
3.根据权利要求2所述的区熔热场线圈监测台,其特征在于:所述每组中的定位螺栓孔(2-1)为四个、进水孔(2-2)为一个。
4.根据权利要求1所述的区熔热场线圈监测台,其特征在于:所述检测台底座(1)、监测台面(2)均为不锈钢板。
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