[实用新型]一种用于单晶炉重掺砷杂质的挥发器装置

权利要求书

1.一种用于单晶炉重掺砷杂质的挥发器装置，其特征在于，它包括第一高压桶（4）和位于第一高压桶内的载料舟（6），所述第一高压桶外廓为圆柱形，其内部为中空结构，第一高压桶的顶部封闭、底部为通透的环形平面，在第一高压桶底部均匀分布气体通道（9）。

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉重掺砷杂质的挥发器装置，其特征在于，所述第一高压桶下部外侧套装第二高压桶（7），在第二高压桶外侧套装第三高压桶（8），第二、第三高压桶均为圆柱形，第二、第三高压桶的顶部封闭，底部为通透的、与第一高压桶位于同一平面的环形平面，在第二、第三高压桶底部分别均匀分布气体通道（9）。 

3.根据权利要求2所述的用于单晶炉重掺砷杂质的挥发器装置，其特征在于，设置在各高压桶上的气体通道（9）分别为4-8个，位于不同高压桶上的气体通道不在同一直径上。

4.根据权利要求3所述的用于单晶炉重掺砷杂质的挥发器装置，其特征在于，所述各气体通道（9）的高度为8-12毫米，气体通道的宽度为4-8毫米。

5.根据权利要求4所述的用于单晶炉重掺砷杂质的挥发器装置，其特征在于，所述第一高压桶（4）顶部设有梯形桶系，桶系（3）的中部设有连接孔（2），连接孔与钢丝绳（1）连接。

6.根据权利要求5所述的用于单晶炉重掺砷杂质的挥发器装置，其特征在于，所述第一高压桶内设有挂台（5），挂台处设有挂槽（5-1），所述载料舟（6）上对称设置舟耳（6-1），舟耳与挂槽匹配挂合。