[实用新型]一种研磨抛光机的冷却密封结构

说明书

技术领域

本实用新型属于研磨抛光加工设备领域，具体涉及一种研磨抛光机的冷却密封结构。

背景技术

目前，单面研磨机冷却机构采用冷却水经冷却水管进入抛光盘内部对抛光盘进行冷却，冷却回水经出水孔流出。虽然目前有的上抛光盘冷却结构（参见中国专利CN101966695A） 和抛光机的下抛光盘（参见中国专利CN101972998A）冷却结构采用了水冷盘结构腔构成，每个腔有各自的进出水口。然而由于其结构上采用工作盘与冷水盘加之密封圈来形成密封的冷却水腔，下抛光盘中在冷却水腔中还引入了冷却水输送管，致使生产组装此类冷却系统所耗时间过长，影响生产效率，进而提高了生产成本，且其冷却水腔为抛光盘径向发散方向，水路在抛光盘中心较窄，周边较宽。当抛光盘旋转工作时，冷却水在离心力的作用下聚集在抛光盘周边而不能适时循环。并且抛光盘的工作部位往往在周边部分，周边部位温升较高，上述的冷却结构对抛光盘周边的热量交换不及时不充分，影响冷却效果。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的缺陷，提出了一种可以保持恒定的盘面温度，提高冷却效果的研磨抛光机的冷却密封结构。

实现本实用新型目的采用的技术方案如下： 

研磨抛光机的冷却密封结构，包括中心轴、设在中心轴上的托盘、设在托盘上的研磨盘，所述托盘上设有冷却循环水道，冷却循环水道的进水口和出水口均经所述中心轴通过旋转接头与水冷却装置相连；所述冷却循环水道为若干条以中心轴为中心分别构成扇形冷却区，各冷却循环水道在其扇形冷却区内成同心圆之字形分布。

所述扇形冷却区周向分为两部分，所述冷却循环水道在两部分内分别成同心圆之字形分布，两部分内的冷却循环水道在最外的圆周相接。

所述冷却循环水道为三条设在所述的托盘上。

本实用新型由于在托盘和研磨盘之间采用成扇形布置的冷却循环水道，冷却循环水道在其扇形冷却区内成同心圆之字形分布，使得圆周上的冷却循环水道之间具有相等的距离，冷却循环水道对研磨盘的每一部分的都具有同样的散热效果，而且可以保证冷却水必须完全经过水道回路而没有滞留，确保抛光盘能得到充分和及时的冷却，获得较好的冷却效果。

下面结合附图进一步说明本实用新型的技术方案。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1中Ⅰ处的局部放大图。

图3是图1中Ⅱ处的局部放大图。

图4是本实用新型中托盘的示意图。

具体实施方式

参见图1—图4，本实用新型研磨抛光机的冷却密封结构，包括水冷却装置1、中心轴11、托盘6、研磨盘7等；托盘6固定在中心轴11上，研磨盘7固定在托盘上6，中心轴11与托盘6之间通过“O”形密封圈9、10密封，托盘6与研磨盘7之间通过“O”形密封圈8密封，防止冷却水泄露，由此构成了密封系统；中心轴11的中心设有进水管4和出水管13，进水管4套在出水管13内，进水管4和出水管13在中心轴11的底部通过复流式内管旋转接头3分别与连接水冷却装置1的外接进水管2和外接出水管12连接，复流式内管旋转接头3与进水管4通过两个“O”形密封圈15密封，进水管4的上端设有内分水接头5；托盘6上设有三条冷却循环水道14，各冷却循环水道14的进水口a与内分水接头5连接，各冷却循环水道14的出水口b与中心轴11中的出水管13相连；三条冷却循环水道14以中心轴11为中心构成三个扇形冷却区，每个扇形冷却区周向分为两部分，冷却循环水道14在两部分内分别成同心圆之字形分布，两部分内的冷却循环水道14在最外的圆周相接。

冷却水经水冷却装置1冷却后从外接进水管2进入中心轴11的进水管4，进水管4和内分水接头5连为一体安装在托盘6上，在水压力作用下冷却水沿着进水管4和内分水接头5进入托盘6，通过内分水接头5将冷却水分成三路独立的水路流入托盘6上“之”字形冷却循环水道14内注满托盘，冷却水与研磨盘7充分接触，带走研磨盘7因工作产生的热量，三条冷却循环水道14内的水分别通过三个出水口b流入中心轴11的出水管13，进入复流式内管旋转接头3，通过外接出水管12流回水冷却装置1，由此形成了冷却循环回路。