[实用新型]多层片式结构氧传感器

权利要求书

1.多层片式结构氧传感器，包括氧化锆敏感层、参比气通道层、加热层，所述氧化锆敏感层上表面设置有外电极，下表面设置有内电极，其特征在于，在氧化锆敏感层和参比气通道层之间设置有调节不同结构层热膨胀系数、防止层与层之间开裂的第一多孔过渡层，在参比气通道层和加热层之间设置有调节不同结构层热膨胀系数、防止层与层之间开裂的第二多孔过渡层，多层片式结构氧传感器依次排列为：氧化锆敏感层、第一多孔过渡层、参比气通道层、第二多孔过渡层和加热层。

2.根据权利要求1所述的多层片式结构氧传感器，其特征在于，所述多孔过渡层依次包括用于紧密粘合不同结构层、调节不同结构层热膨胀系数、增加不同结构层稳定性能的稳定层，氧化锆陶瓷层。

3.根据权利要求2所述的多层片式结构氧传感器，其特征在于，所述多孔过渡层在稳定层上还设置有提高不同结构层间力学性能匹配的氧化铝层。

4.根据权利要求2所述的多层片式结构氧传感器，其特征在于，所述稳定层是氧化钇层。

5.根据权利要求2所述的多层片式结构氧传感器，其特征在于，所述稳定层是氧化镁层。

6.根据权利要求2所述的多层片式结构氧传感器，其特征在于，所述稳定层是氧化钙层。

7.根据权利要求1所述的多层片式结构氧传感器，其特征在于，所述氧化锆敏感层外侧还设置有保护层。

8.根据权利要求7所述的多层片式结构氧传感器，其特征在于，所述加热层上设置有加热电极。

9.根据权利要求8所述的多层片式结构氧传感器，其特征在于，所述参比气通道层设置有容纳参比气体的参比气通道。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的多层片式结构氧传感器，其特征在于，所述第一多孔过渡层和第二多孔过渡层的厚度为10-25微米。