[实用新型]一种流化床多晶硅颗粒的制备装置有效
申请号: | 201320549074.1 | 申请日: | 2013-09-03 |
公开(公告)号: | CN203593626U | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | 李波;宫有圣;金越顺 | 申请(专利权)人: | 浙江精功新材料技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 310018 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 流化床 多晶 颗粒 制备 装置 | ||
1.一种流化床多晶硅颗粒的制备装置,其特征在于,包括流化床反应器(1)、旋风分离器(10)、细硅颗粒晶种罐(11)和硅颗粒加料罐(14);流化床反应器(1)包括流化床反应器筒体(2)和流化床扩大段(8);流化床反应器筒体(2)底部设有产品出料口(3),下部设有硅源气体进料口(4)和稀释气体进气口(5),流化床反应器筒体(2)外部包覆有反应器加热装置(6);流化床扩大段(8)顶部设有反应尾气出口(9);细硅颗粒晶种罐(11)顶部设有硅晶种加料口(12)和尾气出口(13);流化床扩大段(8)的底部与流化床反应器筒体(2)顶部固连,且流化床扩大段(8)的直径大于流化床反应器筒体(2)的直径;流化床扩大段(8)顶部通过管路与旋风分离器(10)进口相连,旋风分离器(10)底部出口与硅颗粒加料罐(14)相连,硅颗粒加料罐(14)的底部与设于流化床反应器筒体(2)下部的硅晶种进料口(7)相连;旋风分离器(10)顶部出口通过管路经尾气加压风机(15)后一方面与流化床反应器筒体(2)下部相连,另一方面与细硅颗粒晶种罐(11)下部相连,细硅颗粒晶种罐(11)底部出口通过管路与硅颗粒加料罐(14)相连;由产品出料口(3)连接的管路上设有热量回收套筒(16),硅源性气体先经设于管路上的气体预热器(17)预热,再经过热量回收套筒(16)换热后,与硅源气体进料口(4)相连。
2.根据权利要求1所述的一种流化床多晶硅颗粒的制备装置,其特征在于,流化床扩大段(8)的直径为流化床反应器筒体(2)直径的1.5-3倍,且流化床扩大段(8)与流化床反应器筒体(2)连接处弧形过度;流化床扩大段(8)的长度为流化床反应器筒体(2)长度的1/3-1/2。
3.根据权利要求1所述的一种流化床多晶硅颗粒的制备装置,其特征在于,所述硅颗粒加料罐(14)的位置与流化床反应器筒体(2)内的硅晶种位置相对应,硅颗粒加料罐(14)与流化床反应器形成连通器结构。
4.根据权利要求1所述的一种流化床多晶硅颗粒的制备装置,其特征在于,流化床扩大段(8)与流化床反应器筒体(2)内壁设有厚度为1-3mm的内衬层。
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