[实用新型]一种真空镀膜仪用样品台架

说明书

技术领域

本实用新型属于检化验装置领域，尤其涉及一种真空镀膜仪喷碳操作专用的样品台架。

背景技术

透射电镜碳萃取复型样品制作中的一个关键步骤就是对样品表面喷射一定厚度的碳膜。喷碳操作在真空镀膜仪中进行，其真空室内的样品台为一平面，通常呈圆形，适用于对一个或多个样品待喷面与其相对底面平行的样品进行喷碳，当对多个这样的样品进行喷碳时，为了达到喷碳均匀的目的，要求的理想状态为所有样品待喷面在一个平面内，即样品等高；而对于样品待喷面与其相对底面不平行的样品，往往会使碳膜喷镀不均匀，影响到复型样品的观察效果。

另外，为了提高工作效率，需要同时对多个样品进行喷碳操作，若样品长短不一，即使样品待喷面与其相对底面平行，同样会出现上述问题。目前，在对多个样品进行同时喷碳时，采用附加金属块铺垫和支持住多个样品的方法，使其待喷碳表面处于同一平面内，但在操作上具有一定难度，且样品不牢靠。

发明内容

本实用新型旨在提供一种可将多个样品夹持住，并使尺寸不规格样品的待喷碳面处于利于喷镀均匀碳膜的方位，从而实现对多个样品同时进行喷碳，提高工作效率的真空镀膜仪用样品台架。

为此，本实用新型所采取的解决方案是：

一种真空镀膜仪用样品台架，其特征在于，由夹板、滑板、滑轨、弹簧及支腿组成；滑轨两端通过螺纹连接在两块相向设置的夹板两端的螺孔内，滑板通过两端光孔滑动连接在滑轨上，位于滑板外侧的滑轨上分别安装有弹簧，两个“U”形支腿的伸出端套装在夹板内侧的滑轨上。

本实用新型的有益效果为：

由于滑板外侧的滑轨上安装有弹簧，在滑板与夹板之间夹持试样时，弹簧处于受压状态，通过弹簧的反作用力可以将试样牢固地夹持住。支腿可以绕滑轨转动，通过调整支腿的旋转角度不仅可以对试样待喷碳面的角度作出相应调整，而且可以对更高高度的试样进行喷碳操作。

本实用新型结构简单，加工方便，可将多个样品夹持住，并使尺寸不规格样品的待喷碳面处于利于喷镀均匀碳膜的方位，得到较均匀的碳膜，从而实现对多个样品同时进行喷碳，极大提高工作效率。

附图说明

图1是真空镀膜仪用样品台架俯视图。

图中：弹簧1、滑板2、滑轨3、支腿4、夹板5。

具体实施方式

由图1可见，本实用新型真空镀膜仪用样品台架系由弹簧1、滑板2、滑轨3、支腿4及夹板5所组成。夹板5为两块相向设置的平板，在夹板5的两个端部分别开有一带有内螺纹的螺孔，滑轨3的两端通过螺纹连接在夹板5两端的螺孔内，两块夹板5之间的距离可以通过旋转滑轨3进行调整。滑板2通过两端的光孔滑动连接在滑轨3上，并可沿滑轨3滑动。位于滑板2外侧的滑轨3上分别安装有弹簧1，弹簧1一端顶在滑板2上，另一端顶在夹板5上。支腿4整体呈“U”形，两个支腿4的伸出端分别套装在夹板5内侧的滑轨3上，当所夹持试样高度超过夹板5的高度时，将支腿4旋转至竖直位置，即可使试样待喷碳面处于水平位置。若试样待喷碳面不处于水平位置，则可向外扳动一侧的支腿4，使其倾斜一定角度，使试样待喷碳面处于水平位置。