[实用新型]处理平坦基板的装置

权利要求书

1.一种处理平坦基板的装置，所述装置使用彼此不同的液体，进行固定于保持装置（3）的平坦基板（4）的处理，并进行所述平坦基板（4）自所述保持装置（3）剥离的准备，其特征在于，具有： 

收纳液体的槽（1）； 

改变所述保持装置（3）和所述槽（1）之间的垂直距离的装置（2）； 

向所述槽（1）内分别供给适用于进行所述平坦基板（4）的处理或剥离所述平坦基板（4）的准备的至少二种液体的机构。 

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述装置具有唯一的槽（1）。 

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中，作为分别供给的机构，使用一个多路阀或多个单向阀，所述一个多路阀与用于各液体的分开的供给部连接或可连接，所述多个单向阀与这些供给部连接或可连接，或者将所述一个多路阀或所述多个单向阀与该装置对应配置。 

4.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述装置还具有从所述槽（1）除去液体的机构。 

5.根据权利要求3所述的装置，其中，所述装置还具有从所述槽（1）除去液体的机构。 

6.根据权利要求4所述的装置，其中，作为所述除去液体的机构，使用一个多路阀或多个单向阀，所述一个多路阀与暂时储存液体的分开的罐（9）连接或可连接，所述多个单向阀与这些罐（9）连接或可连接，或者将所述一个多路阀或多个单向阀与该装置对应配置。 

7.根据权利要求5所述的装置，其中，作为所述除去液体的机构，使用一个多路阀或多个单向阀，所述一个多路阀与暂时储存液体的分开的罐（9）连接或可连接，所述多个单向阀与这些罐（9）连接或可连接，或者将所述一个多路阀或多个单向阀与该装置对应配置。 

8.根据权利要求1、2、5至7中任一项所述的装置，其中，所述保持装置（3）及所述槽（1）中的至少一方可通过改变所述垂直距离的装置 （2）沿垂直方向移动。 

9.根据权利要求3所述的装置，其中，所述保持装置（3）及所述槽（1）中的至少一方可通过改变所述垂直距离的装置（2）沿垂直方向移动。 

10.根据权利要求4所述的装置，其中，所述保持装置（3）及所述槽（1）中的至少一方可通过改变所述垂直距离的装置（2）沿垂直方向移动。 

11.根据权利要求1、2、5至7、9、10中任一项所述的装置，其中，还具有所述平坦基板（4）的超声波清洗装置（5），该超声波清洗装置（5）固定在所述槽（1）内，或者配置于所述保持装置（3）。 

12.根据权利要求3所述的装置，其中，还具有所述平坦基板（4）的超声波清洗装置（5），该超声波清洗装置（5）固定在所述槽（1）内，或者配置于所述保持装置（3）。 

13.根据权利要求4所述的装置，其中，还具有所述平坦基板（4）的超声波清洗装置（5），该超声波清洗装置（5）固定在所述槽（1）内，或者配置于所述保持装置（3）。 

14.根据权利要求8所述的装置，其中，还具有所述平坦基板（4）的超声波清洗装置（5），该超声波清洗装置（5）固定在所述槽（1）内，或者配置于所述保持装置（3）。 

15.根据权利要求1、2、5至7、9、10、12至14中任一项所述的装置，其中，还具有与液体数相应数量的用于液体的循环泵（6）、输出至少一种液体的喷嘴（7）、收集被剥离的基板的筐、以及用于蒸汽或气体状反应产物的吸气装置（8）中的至少一个。 

16.根据权利要求3所述的装置，其中，还具有与液体数相应数量的用于液体的循环泵（6）、输出至少一种液体的喷嘴（7）、收集被剥离的基板的筐、以及用于蒸汽或气体状反应产物的吸气装置（8）中的至少一个。 

17.根据权利要求4所述的装置，其中，还具有与液体数相应数量的用于液体的循环泵（6）、输出至少一种液体的喷嘴（7）、收集被剥离的基板的筐、以及用于蒸汽或气体状反应产物的吸气装置（8）中的至少一 个。 

18.根据权利要求8所述的装置，其中，还具有与液体数相应数量的用于液体的循环泵（6）、输出至少一种液体的喷嘴（7）、收集被剥离的基板的筐、以及用于蒸汽或气体状反应产物的吸气装置（8）中的至少一个。