[实用新型]用于LED曝光机的光学检测装置及LED曝光机有效
申请号: | 201320561274.9 | 申请日: | 2013-09-11 |
公开(公告)号: | CN203414734U | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 张方德;王玉璋;贺兴志;谢桂平 | 申请(专利权)人: | 浙江欧视达科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G01R31/44;G01M11/02 |
代理公司: | 温州金瓯专利事务所(普通合伙) 33237 | 代理人: | 王坚强 |
地址: | 325000 浙江省温州市高新技*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 led 曝光 光学 检测 装置 | ||
1.一种用于LED曝光机的光学检测装置,其特征在于:其包括安装在LED曝光机两侧的Y向轨道(4)、与Y向轨道(4)滑移配合的X向轨道(2)以及与X向轨道(2)滑移配合的光学检测探头(1),所述Y向轨道(4)上设有驱动X向轨道(2)沿Y向轨道(4)滑移的驱动装置,所述X向轨道(2)上设有驱动光学检测探头(1)沿X向轨道(2)滑移的驱动装置。
2.根据权利要求1所述的用于LED曝光机的光学检测装置,其特征在于,所述驱动装置采用皮带轮驱动装置(3)。
3.根据权利要求1所述的用于LED曝光机的光学检测装置,其特征在于,所述X向轨道(2)采用滑轨。
4.根据权利要求1所述的用于LED曝光机的光学检测装置,其特征在于,所述Y向轨道(4)采用滑轨。
5.根据权利要求1所述的用于LED曝光机的光学检测装置,其特征在于,所述X向轨道(2)两侧各设有一个光学检测探头(1)。
6.根据权利要求1或5所述的用于LED曝光机的光学检测装置,其特征在于,所述光学检测探头(1)包括用于检测上方光源的上检测探头以及用于检测下方光源的下检测探头。
7.一种采用权利要求1所述的光学检测装置的LED曝光机,其包括曝光台面和光学照明装置,所述光学照明装置分别安装与曝光台面上下两面,所述光学照明装置采用多颗LED,其特征在于:所述光学照明装置内设有用于检测LED的电压变化的电压检测装置,所述光学照明装置与曝光台面之间设有光学检测装置。
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