[实用新型]硅片印刷机上料吹风装置有效
申请号: | 201320568364.0 | 申请日: | 2013-09-13 |
公开(公告)号: | CN203528054U | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 高超;徐昌华;史才成;孟宪亮;郝子龙;郑银先;华贵俊;陈前兆 | 申请(专利权)人: | 江苏晶鼎电子材料有限公司 |
主分类号: | B41F15/20 | 分类号: | B41F15/20 |
代理公司: | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人: | 谢观素 |
地址: | 223700 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 印刷机 吹风 装置 | ||
1. 硅片印刷机上料吹风装置,包括印刷机工作平台(6),工作平台(6)上用于堆放待加工硅片的工件台(1),以及运送硅片的真空吸盘(2),其特征在于:所述工件台(1)一侧的工作平台(6)上设有吹风装置(3),所述吹风装置(3)为两端截面分别设有一排出风孔(4)和一个进气口(5)的矩形块,所述出风孔(4)和所述进气口(5)连通,所述进气口(5)与印刷机的供气系统连通,所述出风孔(4)所在的截面正对着所述工件台(1),所述出风孔(4)至少有四个,所述四个出风孔(4)水平均匀排列成一排。
2. 如权利要求1所述的硅片印刷机上料吹风装置,其特征在于:所述出风孔(4)的孔径为2-4mm。
3. 如权利要求1所述的硅片印刷机上料吹风装置,其特征在于:所述出风孔(4)的中心略高于工件(7)堆放的高度。
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