[实用新型]晶舟固定弹片

说明书

技术领域

本实用新型是关于一种晶舟固定弹片，尤其是可减少与晶舟摩擦，以降低摩擦产生的微粒与粉尘对晶圆造成的损害与影响。

背景技术

现今，晶圆制造业为蓬勃发展的产业之一，晶圆为极薄且布设有高密度电路的硅晶，故自制造到加工完成，皆须特别注意避免撞击造成晶圆的损坏，因此于包装运送时，是将多个晶圆排列设置于晶舟内，再于外侧套设一保护盒，以获得更佳的保护效果。

一般晶舟的整体高度会略低于外保护盒的高度，故晶舟置入保护盒并固定后，其顶侧会与保护盒内部形成一空间，而为了确实固定晶舟的位置，是于晶舟顶侧与保护盒之间设置弹片组件，利用弹片组件确实稳固晶舟，弹片组件的一侧是连接固定于保护盒，另一侧则与晶舟顶侧呈活动式接触。因此，于搬运移动时，晶舟受冲击后会产生晃动甚或位移，此时除了透过保护盒内的固定装置来限制晶舟移动外，弹片组件亦可达到限位的功用。

然而，上述设置在长期使用下，弹片组件不停与晶舟顶侧摩擦，同时造成弹片组件与晶舟双方的磨损，并产生磨损微粒或粉屑，除了缩短晶舟及弹片组件的使用寿命外，其产生的微粒与粉屑，亦会对晶圆造成污损。此外，弹片组件除了受到晶舟赋予的水平力外，搬运途中晶舟亦会出现垂直力，当弹片组件受到晶舟顶抵时，容易因受力而断裂或造成晶舟的位移过大，失去限制晶舟位置的效果。

故本实用新型发明人就其多年从事相关产业的经验，构思一种晶舟弹片装置，希冀可解决上述缺失。

实用新型内容

本实用新型的一目的，旨在提供一种晶舟固定弹片，其是可减少搬运时，外盒体内放置的晶舟与固定弹片产生的摩擦，借以延长晶舟与弹片的使用寿命，并防止摩擦产生的微粒与碎屑污染晶圆表面造成损伤。

本实用新型的另一目的，旨在提供一种晶舟固定弹片，其是透过倾斜设计，使该晶舟相对该晶舟固定弹片施加垂直向力道时，该晶舟固定弹片是可顶抵于外盒体并产生形变，借以避免该晶舟固定弹片断裂，并可同时达到缓冲力量的功效。

为达上述目的，本实用新型的晶舟固定弹片，是设置于一外盒体内部，且该外盒体内是设有一晶舟，该晶舟固定弹片则位于该外盒体内侧与该晶舟的一顶侧间，而该晶舟是用以承载复数片晶圆，其特征在于：该晶舟固定弹片为中空框状，且其顶端与底端分别具有一第一连接部与一第二连接部，该第一连接部设有一顶抵柱，供以与该外盒体连接固定，该第二连接部设有一滚轮，且该滚轮是与该晶舟的该顶侧接触，以减少搬运中该晶舟因晃动而与该晶舟固定弹片摩擦所产生的微粒。

其中，该晶舟固定弹片为倒梯形的围框，且该第一连接部具有一第一倾斜端与一第二倾斜端，其分别位于该顶抵柱的二侧，并相对水平具有一第一夹角与一第二夹角，且该第一夹角是介于10度～20度，该第二夹角是介于160度～180度。

此外，该滚轮是透过一转轴固定于该第二连接部，并相对该晶舟滚动，该晶舟固定弹片是选自聚乙烯或尼龙等材质制成，以降低与该晶舟的摩擦。

为了将该晶舟弹片装置固定于该外盒体，是使该外盒体对应该晶舟固定弹片设有至少一锁固孔，以与该顶抵柱相卡合并锁固该晶舟固定弹片。

附图说明

 图1为本实用新型较佳实施例的分解示意图；

图2为本实用新型较佳实施例的立体分解图；

图3为本实用新型较佳实施例的应用示意图；

图4为本实用新型较佳实施例的受力示意图。

【主要组件符号说明】

 1 晶舟固定弹片

  10  第一连接部

  101 顶抵柱

  102 第一倾斜端

  103 第二倾斜端

  104 凹槽

  11  第二连接部

  12  滚轮

  121 转轴

  2   外盒体

  20  锁固孔

  3   晶舟

  30  顶侧

  4   晶圆

  α  第一夹角

  β  第二夹角。

具体实施方式

为使贵审查委员能清楚了解本实用新型的内容，仅以下列说明搭配图式，敬请参阅。

请参阅图1、图2、图3及图4，其为本实用新型较佳实施例的分解示意图、立体分解图、应用示意图与受力示意图。本实用新型的晶舟固定弹片1是设置于一外盒体2内部，该外盒体2内更具有一晶舟3，该晶舟固定弹片1则位于该外盒体2内侧与该晶舟3的一顶侧30间，而该晶舟3是用以承载复数片晶圆4。