[实用新型]一种质谱检漏仪的组合阀体装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种组合阀体装置,具体讲,是涉及一种质谱检漏仪的组合阀体装置。

背景技术

检漏仪是一种用氦气、氢气等作为示漏气体，以气体分析仪（即质谱计）检测示漏气体来进行检漏的质谱仪。检漏仪可以用于检漏各类容器的气密性，因而广泛应用到电力、电子、化工、制冷、航空航天等诸多行业。随着科学技术的发展及市场需求的不断提高，检漏仪不仅向高灵敏度、全量程方向发展，而且向体积小和重量轻等方向发展。在设计上需要检漏仪结构紧凑，将其真空系统部件一体化、电气部件一体化。

中国专利文献CN201903433U公开了一种检漏仪真空系统，其包括检漏口、质谱室和真空泵机构，所述检漏口放置被检件；所述质谱室检测示漏气体，在所述质谱室与所述检漏口之间的气路通道上设置有真空泵机构，所述真空泵机构用于对所述检漏口和所述质谱室抽真空，在所述真空泵机构与所述检漏口之间的气路通道上设置有阀门；所述质谱室和所述检漏口之间的气路通道与所述质谱室和所述真空泵机构之间的气路通道连接并形成节点，在所述节点与所述质谱室之间的气路通道上也设置有阀门。该实用新型提供的检漏仪真空系统，在初检时采用逆扩散检漏方式，检漏效率高，在精检时采用正扩散检漏方式，准确度高、灵敏度高，而且在转换为正扩散检漏时不会损坏质谱室内灯丝。虽然如此，其仍存在如下缺陷：整个检漏仪真空系统的气路由管道连接组成，管道与管道之间、管道与前级低真空泵或者管道与高真空分子泵之间的各个连接处，密封要求都比较高。由于各个部件均由管道连接组成，节点很多，每一个节点都必须得到良好的密封，这使得管道的连接十分麻烦，而且很容易出现密封不严、漏气等问题，从而给正常的检漏操作带来不便，降低了工作效率和检漏精度；而且检漏仪的真空气路系统采用管道连接实现，整体上使得检漏仪体积较大，结构松散，运输和使用都不方便。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服上述技术缺陷，提供一种结构紧凑，密封接点少且密封效果好的用于质谱检漏仪的组合阀体装置。

因此，本实用新型提供如下技术方案：一种质谱检漏仪的组合阀体装置，包括阀体，所述阀体的内部开设有用于气体泄漏检测的粗检气体通路、用于气体泄漏检测的精检气体通路，以及用于安装切换组件的安装口，所述切换组件用于所述粗检气体通路和所述精检气体通路之间的切换。

所述阀体为组合阀体，所述组合阀体包括第一阀体、第二阀体以及将所述第一阀体和所述第二阀体密封连接的密封固定组件。

所述第一阀体的内部开设有第一粗检气体通路和第一精检气体通路，所述第二阀体的内部开设有第二粗检气体通路和第二精检气体通路，所述第一粗检气体通路和所述第二粗检气体通路连通形成所述粗检气体通路，所述第一精检气体通路和所述第二精检气体通路连通形成所述精检气体通路。

所述第一阀体上设有检漏口，所述检漏口处适于安装待检部件，所述检漏口通过开设在所述第一阀体内部的连接管路与第一粗检气体通路和第一精检气体通路分别连通。

所述第二阀体内设有用于安装分子泵和质谱室的中间口，所述中间口分别与所述第二粗检气体通路和第二精检气体通路连通。

所述切换组件包括安装在所述粗检气体通路上的用于控制所述检漏口与所述中间口通断的第一预抽阀，以及安装在所述精检气体通路上的用于控制所述检漏口与中间口通断的第一中间阀。

所述切换组件还包括在所述粗检气体通路上与所述第一预抽阀并联设置的第二预抽阀，以及在所述精检气体通路上与所述第一中间阀并联设置的第二中间阀。

所述切换组件还包括安装在所述粗检气体通路上的前级阀，所述前级阀位于所述中间口与所述第一预抽阀之间的通路上。

所述第二阀体的内部设置有用于安装机械泵的机械泵连接口，所述前级阀位于所述机械泵与所述质谱室之间的通路上。

所述连接管路上设置放气阀。

本实用新型质谱检漏仪的组合阀体装置具有以下优点：

1. 本实用新型质谱检漏仪的组合阀体装置，由于精检气体通路和粗检气体通路在所述阀体的内部开设而成，避免了现有技术中采用多个管路连接形成整条气体通路时容易导致密封不严的问题，大大提高了密封性，并且，粗检气体通路和精检气体通路以及切换组件都位于壳体的内部，使得装置的结构紧凑，减小占地面积，并便于运输。