[实用新型]透射电镜用原位双轴倾转纳米压痕仪有效
| 申请号： | 201320574347.8 | 申请日： | 2013-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN203534987U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 韩晓东;岳永海;张泽 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透射 电镜用 原位 双轴倾转 纳米 压痕 | ||
【权利要求书】：
1.透射电镜用原位双轴倾转纳米压痕仪，其特征在于：包括支撑部分、驱动部分，所述的支撑部分是金属环，所述的驱动部分是一条由不同线膨胀系数组成的热双金属片，热双金属片一端固定在金属环的上面，另一端为自由端；在自由端且热膨胀系数低的一侧固定一个悬臂梁针尖，悬臂梁针尖上的针尖背对着热双金属片放置，样品固定在样品支撑台的一端上，样品支撑台的另一端固定在金属环上且要让样品正对悬臂梁针尖放置，且样品与悬臂梁针尖之间的缝隙在2-50微米之间；热双金属片和悬臂梁针尖用导电材料固定在一起，样品和样品支撑台用导电材料固定在一起，热双金属片、样品支撑台分别与金属环绝缘固定，在热双金属片、样品支撑台上分别焊接电极，电极与外部测试电路连接。
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