[实用新型]一种真空环境下的流动柔性基板的加热装置

权利要求书

1.一种真空环境下的流动柔性基板的加热装置，包括上加热板（1）、下加热板（2）以及电热丝（3），所述上加热板（1）上设置有若干个上加热板电热丝槽（11），所述下加热板（2）上设置有若干个与所述上加热板电热丝槽（11）对应的下加热板电热丝槽（21），所述电热丝（3）安装在所述上加热板电热丝槽（11）及所述下加热板电热丝槽（21）组成的电热丝安装槽（6）中，其特征在于：所述电热丝（3）与所述电热丝安装槽（6）之间具有空腔（5），所述空腔（5）适于与真空腔室连通。

2.根据权利要求1所述真空环境下的流动柔性基板的加热装置，其特征在于：所述空腔

（5）形成于所述电热丝（3）与靠近待加热基板的所述上加热板电热丝槽（11）内壁之间。

3.根据权利要求1或2所述的真空环境下的流动柔性基板的加热装置，其特征在于：所述上加热板电热丝槽（11）和/或所述下加热板电热丝槽（21）的截面呈半圆型。

4.根据权利要求3所述的真空环境下的流动柔性基板的加热装置，所述空腔（5）具有环形截面，所述空腔（5）的直径比所述加热丝（3）直径大0.2-0.4倍。

5.根据权利要求4所述的真空环境下的流动柔性基板的加热装置，其特征在于：所述上加热板（1）以及所述下加热板（2）上分别设置有若干个螺丝孔（4），所述螺丝孔（4）与螺钉配合实现对所述上加热板（1）和所述下加热板（2）的安装固定。

6.根据权利要求5所述的真空环境下的流动柔性基板的加热装置，其特征在于：若干个所述电热丝安装槽（6）呈U型均匀的分布在加热板中。

7.根据权利要求6所述的真空环境下的流动柔性基板的加热装置，其特征在于：若干个所述电热丝安装槽（6）连续分布。

8.根据权利要求7所述的真空环境下的流动柔性基板的加热装置，其特征在于：所述上加热板（1）与所述下加热板（2）采用碳合金绝缘材料制成。

9.根据权利要求8所述的真空环境下的流动柔性基板的加热装置，其特征在于：所述螺丝孔（4）成排的均匀穿插分布于相邻所述电热丝安装槽（6）之间。