[实用新型]一种CCD相机调整装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种CCD相机调整装置，应用于拉晶领域。

背景技术

集成电路的发展要求芯片集成度不断提高，芯片特征线宽不断减小，单晶直径不断增大，内在品质要求也愈高。

拉晶过程中，不同的拉晶尺寸，所需要的CCD相机监测位置和CCD相机设置参数都不相同。如12英寸单晶直径为300mm，而8英寸单晶直径为200mm，直径增大后拉晶时所需要的温度梯度控制、氩气流速、拉晶工艺参数设置、CCD相机控径系统等与8英寸相比要求几乎上了一个台阶。

拉制12英寸单晶棒，由于所拉制晶棒时CCD相机不能完整测试光圈，因此需要更改CCD相机的位置和镜头角度，而更改CCD相机的镜头角度和前后远近位置会造成CCD相机监测的巨大影响，导致拉晶时晶棒直径测量的不准确而使拉晶失败。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种CCD相机调整装置，通过对CCD相机调节装置上面第一固定盘螺丝以及第二固定盘螺丝的调节来改变CCD相机的检测位置，从而改变CCD相机位置或是镜头角度后，测定合适的CCD相机参数。确定CCD相机参数后，需要更改在拉晶过程中的误差设定。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种CCD相机调整装置，包括：

一支撑板，一垂直设置支撑板上的调节板，

一与调节板连接的转动板，以及一与转动板连接的悬臂，

所述转动板中部开设第一贯通槽，第一固定盘螺丝在第一贯通槽内自由滑动，且所述第一固定盘螺丝将转动板和调节板固定连接。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述悬臂中部开设第二贯通槽，第二固定盘螺丝贯穿第二固定盘，以及第二贯通槽将所述转动板和悬臂连接。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述第一固定盘螺丝与所述调节板之间设置第一固定盘；所述第二固定盘螺丝与所述转动板之间设置第二固定盘。

通过上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

通过第一固定盘螺丝的前后调节调整合适的位置，达到最大的测试视野；通过第二固定盘螺丝的旋转调节调整合适位置，达到最佳的测试倾角；使得CCD相机处于最佳拍摄位置。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

参照图1，一种CCD相机调整装置，包括：一支撑板100，其中支撑板100通过一固定螺栓102固定于地面，一垂直设置支撑板100上的调节板101，一与调节板101连接的转动板200，以及一与转动板200连接的悬臂300，

转动板200中部开设第一贯通槽201，第一固定盘螺丝202在第一贯通槽201内自由滑动，且所述第一固定盘螺丝202将转动板200和调节板101固定连接。

悬臂300中部开设第二贯通槽（图中未标示），第二固定盘螺丝301贯穿第二固定盘302，以及第二贯通槽（图中未标示）将所述转动板200和悬臂300连接。

第一固定盘螺丝202与所述调节板之间设置第一固定盘203；所述第二固定盘螺丝301与所述转动板101之间设置第二固定盘302。

通过第一固定盘螺丝的前后调节调整合适的位置，已达到最大的测试视野；通过第二固定盘螺丝的旋转调节调整合适位置，已达到最佳的测试倾角；使得CCD相机处于最佳拍摄位置。

越大直径单晶拉晶时的光圈由于处于CCD相机监测范围的最外围，因此需要CCD相机更大的倾角来获取光圈的检测范围。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。