[实用新型]一种小尺寸半导体激光器有效
申请号: | 201320585043.1 | 申请日: | 2013-09-22 |
公开(公告)号: | CN203491505U | 公开(公告)日: | 2014-03-19 |
发明(设计)人: | 刘欢;沈燕;徐现刚;王英 | 申请(专利权)人: | 山东华光光电子有限公司 |
主分类号: | H01S5/223 | 分类号: | H01S5/223;H01S5/042 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 吕利敏 |
地址: | 250101 山东省济*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 尺寸 半导体激光器 | ||
1.一种小尺寸半导体激光器,其特征在于,所述半导体激光器的周期尺寸≤150μm。
2.根据权利要求1所述的一种小尺寸半导体激光器,其特征在于,所述半导体激光器的周期尺寸为120-150μm。
3.根据权利要求2所述的一种小尺寸半导体激光器,其特征在于,所述半导体激光器的周期尺寸为150μm。
4.根据权利要求1所述的一种小尺寸半导体激光器,其特征在于,所述半导体激光器是纯条结构:所述半导体激光器,包括由下而上依次设置的N面电极、GaAs衬底、N型下限制层、下波导层、有源区、上波导层和带有刻蚀截止层的P型上限制层,在所述刻蚀截止层的上表面设置有脊条状P型上限制层,在所述脊条上设置有欧姆接触层,在所述P型上限制层上设置有露出欧姆接触层的绝缘层,在所述绝缘层和欧姆接触层上设置有P面电极。
5.根据权利要求4所述的一种小尺寸半导体激光器,其特征在于,所述半导体激光器是带肩结构:在所述脊条状P型上限制层的脊条两侧对称设置有带肩结构。
6.根据权利要求4或5所述的一种小尺寸半导体激光器,其特征在于,所述的脊条状P型上限制层的脊条宽度为4-5μm。
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