[实用新型]一种用于材料介电常数测试的谐振腔测试装置

权利要求书

1.一种用于材料介电常数测试的谐振腔测试装置，其特征在于，包括：

氧化物陶瓷或氮化物陶瓷材料制成的谐振腔(1)，所述谐振腔(1)的腔筒(6)开口处设置有氧化物陶瓷或氮化物陶瓷材料制成的活塞(3)，在所述谐振腔(1)的侧壁开设有耦合孔(4)，氧化物陶瓷或氮化物陶瓷材料制成的波导管(2)对应所述耦合孔(4)与所述谐振腔(1)连接；在所述谐振腔(1)的腔筒(6)内壁、所述波导管(2)的内壁及所述活塞(3)的表面均覆盖有导电金属层。

2.根据权利要求1所述的一种用于材料介电常数测试的谐振腔测试装置，其特征在于：

所述谐振腔(1)为氧化铝、氧化锆、二氧化硅、莫来石或氮化硅陶瓷材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种用于材料介电常数测试的谐振腔测试装置，其特征在于：

所述活塞(3)为氧化铝、氧化锆、二氧化硅、莫来石或氮化硅陶瓷材料制成。

4.根据权利要求1所述的一种用于材料介电常数测试的谐振腔测试装置，其特征在于：

所述波导管(2)为氧化铝、氧化锆、二氧化硅、莫来石或氮化硅陶瓷材料制成。

5.根据权利要求1所述的一种用于材料介电常数测试的谐振腔测试装置，其特征在于：

所述谐振腔(1)的腔筒(6)内壁、所述波导管(2)的内壁及所述活塞(3)表面的导电金属层为铂、铱或铂铑合金的导电金属层。

6.根据权利要求1或5所述的一种用于材料介电常数测试的谐振腔测试装置，其特征在于：

所述导电金属层的厚度大于1μm，表面电阻小于0.1欧姆。

7.根据权利要求1所述的一种用于材料介电常数测试的谐振腔测试装置，其特征在于：

所述谐振腔(1)上设置有螺纹孔(5)，所述波导管(2)采用氧化物陶瓷或氮化物陶瓷材料制成的螺钉与所述谐振腔(1)连接。

8.根据权利要求7所述的一种用于材料介电常数测试的谐振腔测试装置，其特征在于：

所述螺钉为氧化铝、氧化锆、二氧化硅、莫来石或氮化硅陶瓷材料制成。