[实用新型]硅片印刷生产线背电极印刷工位急停装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体加工领域，具体涉及一种硅片印刷生产线背电极印刷工位急停装置。

背景技术

硅片印刷生产线能够先后完成硅片的背电极印刷，背电场印刷，正电极印刷，烧结等工位。硅片首先由生产线起始端的进料机构抓取到传送带上，然后进入背电极印刷工位，该过程操作人员需要值守在背电极印刷的操作台边。现有设备采用全自动的进料装置，当背面印刷板出现故障需要停止送料时，由于操作人员距离进料端较远，不能第一时间关闭进料开关，这就会导致进料拥堵，给生产造成混乱。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片印刷生产线背电极印刷工位急停装置，在本工位出现故障时能第一时间停止送料，不会造成送料拥堵，保证了生产的有序进行。

本实用新型通过以下技术方案实现：

硅片印刷生产线背电极印刷工位急停装置，包括印刷生产线进料端的上料机构，以及背电极印刷工位的操作台，所述操作台上设有急停装置，所述急停装置包括开关座和固定在开关座内的急停按钮，所述开关座固定在所述操作台的壳体上，所述急停按钮与所述上料机构的控制系统电连接。

本实用新型进一步的改进方案是，所述急停按钮凹设于所述开关座内。

本实用新型和现有技术相比具有以下优点：

本实用新型在背电极印刷工位操作台上设有急停开关，当本工位出现故障时能够第一时间停止送料，避免因为操作人员移动过慢硅片拥堵在印刷工位造成的硅片污染和生产混乱，保证待加工硅片的清洁和生产的有序进行，另外急停装置的按钮凹设在开关座内，起到防止误碰的效果。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

如图1所述的硅片印刷生产线背电极印刷工位急停装置，包括印刷生产线进料端的上料机构1，以及背电极印刷工位的操作台2，操作台2上设有急停装置3，急停装置3包括开关座31和固定在开关座31内的急停按钮32，开关座31固定在操作台2的壳体上，急停按钮32与上料机构1的控制系统电连接，急停装置3的设置能够在本工位出现故障时第一时间停止送料，防止送料拥堵造成生产混乱。

本实施例中，急停按钮32凹设于开关座31内，需要操作人员手动开启，可防止误碰。