[实用新型]在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置

权利要求书

1.一种在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置，其特征在于：主要包括真空镀膜系统、脉冲电路系统和等离子体生成系统；

所述真空镀膜系统包括真空镀膜室和位于真空镀膜室内放置盾构刀具的旋转台，真空镀膜室设有排气口；

所述等离子体生成系统包括筒状石墨外电极、位于石墨外电极内的金属钛内电极以及充电装置，所述充电装置与石墨外电极和钛内电极电连接，所述石墨外电极和钛内电极一端伸进所述真空镀膜室内；

所述脉冲电路系统与所述钛内电极电连接，有一充氮气口与所述真空镀膜室连通。

2.根据权利要求1所述的在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置，其特征在于：在所述脉冲电路系统和钛内电极的连接线外设一绝缘套，所述充氮气口开设在所述绝缘套上，所述钛内电极的内边开设一连通所述绝缘套和真空镀膜室的入氮通道。

3.根据权利要求1或2所述的在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置，其特征在于：所述脉冲电路系统包括串联的第一电容，火花间隙开关和快速脉冲电磁阀，所述快速脉冲电磁阀和所述钛内电极电连接。

4.根据权利要求1或2所述的在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置，其特征在于：所述充电装置为充电电容。

5.根据权利要求3所述的在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置，其特征在于：所述充电装置为充电电容。