[实用新型]可调式真空夹具有效
申请号: | 201320603421.4 | 申请日: | 2013-09-27 |
公开(公告)号: | CN203579447U | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 石建东 | 申请(专利权)人: | 广东尚能光电技术有限公司 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00 |
代理公司: | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人: | 张约宗;张秋红 |
地址: | 528251 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调式 真空 夹具 | ||
1.一种可调式真空夹具,其特征在于,包括用于放置被测件的测试台(1)、设置于所述测试台(1)上的多个气孔单元(11)、与所述多个气孔单元(11)相通的真空管道(2)以及与所述真空管道(2)相连的真空发生器。
2.根据权利要求1所述的可调式真空夹具,其特征在于,所述真空管道(2)靠近所述气孔单元(11)的端还设置有可拆式密封件(3),以隔断所述真空管道(2)和与其相通的气孔单元(11)。
3.根据权利要求2所述的可调式真空夹具,其特征在于,所述真空管道(2)包括分别与所述多个气孔单元(11)相连通的多个支管(21)以及将所述多个支管(21)连通的总管(22),所述总管(22)连接于所述真空发生器。
4.根据权利要求3所述的可调式真空夹具,其特征在于,所述支管(21)包括第一管段(210)与第二管段(211),且所述第一管段(210)的内径大于所述第二管段(211)的内径。
5.根据权利要求4所述的可调式真空夹具,其特征在于,所述密封件(3)包括密封螺丝(31),所述密封螺丝(31)包括头部(310)与螺纹部(311)。
6.根据权利要求5所述的可调式真空夹具,其特征在于,所述密封件(3)设置于所述支管(21)内,且所述头部(310)位于第一管段(210)内,所述螺纹部(311)位于第二管段(211)内。
7.根据权利要求6所述的可调式真空夹具,其特征在于,所述第二管段(211)内壁面还设有与所述螺纹部(311)相对的螺纹段(212)。
8.根据权利要求5所述的可调式真空夹具,其特征在于,所述密封件(3)还包括密封垫片(32),所述密封垫片(32)设置于所述密封螺丝(31)与支管(21)之间。
9.根据权利要求2所述的可调式真空夹具,其特征在于,所述气孔单元(11)的大小大于或等于所述密封件的大小。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的可调式真空夹具,其特征在于,该可调式真空夹具为芯片用可调式真空夹具,所述被测件为芯片。
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