[实用新型]原子力显微镜低温观测系统

权利要求书

1.一种原子力显微镜低温观测系统，其特征在于，包括减震台、置于减震台上的底座、原子力显微镜专用冷台、原子力显微镜、原子力显微镜控制器和气密箱，所述原子力显微镜专用冷台固设在底座上，所述原子力显微镜和原子力显微镜控制器电连接，所述原子力显微镜专用冷台、原子力显微镜和原子力显微镜控制器被封闭在气密箱内。

2.根据权利要求1所述的原子力显微镜低温观测系统，其特征在于，所述原子力显微镜专用冷台，包括底板、样品台、半导体制冷模块、温度传感器、温度控制器、循环水泵、冷却水模块，所述底板固设在上述底座上，所述底板中心处设置有样品台，所述半导体制冷模块和温度传感器分别与温度控制器电连接，所述循环水泵通过管道与冷却水模块相连。

3.根据权利要求2所述的原子力显微镜低温观测系统，其特征在于，所述温度传感器包括第一温度传感器和第二温度传感器，所述温度控制器包括第一温度控制器和第二温度控制器，所述半导体制冷模块包括第一半导体制冷模块和第二半导体制冷模块，所述第一温度传感器和第一半导体制冷模块电连接在第一温度控制器上，所述第二温度传感器和第二半导体制冷模块电连接在第二温度控制器上。

4.根据权利要求2或3所述的原子力显微镜低温观测系统，其特征在于，所述底板背面镶嵌至少一个磁铁。

5.根据权利要求2或3所述的原子力显微镜低温观测系统，其特征在于，所述循环水泵与冷却水模块相连的管道分为进水管道和出水管道，所述进水管道设置有加筋，该进水管道的长度大于10m。

6.根据权利要求2或3所述的原子力显微镜低温观测系统，其特征在于，所述温度控制器内嵌有储存模块。