[实用新型]含金属掺杂的类金刚石厚膜有效

申请号：	201320606186.6	申请日：	2013-09-29
公开（公告）号：	CN203546141U	公开（公告）日：	2014-04-16
发明（设计）人：	钱涛;赵德民;乐务时	申请（专利权）人：	星弧涂层新材料科技（苏州）股份有限公司
主分类号：	C23C16/27	分类号：	C23C16/27
代理公司：	南京苏科专利代理有限责任公司 32102	代理人：	陆明耀;陈忠辉
地址：	215122 江苏***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	金属掺杂金刚石
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【权利要求书】：

1.一种含金属掺杂的类金刚石厚膜，其特征在于：包含基材（1）、结合层（2）、掺杂层（3）和功能层（4），所述掺杂层（3）和功能层（4）结合形成一复合层，所述基材（1）的上表面设有结合层（2），所述结合层（2）的上表面设有依次叠加的复合层且所述掺杂层（3）和功能层（4）间隔设置，所述结合层（2）与复合层中的掺杂层（3）结合，所述类金刚石厚膜的厚度大于4μm。

2.如权利要求1所述的含金属掺杂的类金刚石厚膜，其特征在于：所述类金刚石厚膜的厚度大于10μm。

3.如权利要求1所述的含金属掺杂的类金刚石厚膜，其特征在于：所述基材（1）为合金钢片、Si片、陶瓷片中的一种。

4.如权利要求1所述的含金属掺杂的类金刚石厚膜，其特征在于：所述结合层（2）为Cr、Ti、Ni、Si中的一种，所述结合层（2）的厚度为200~300nm。

5.如权利要求1所述的含金属掺杂的类金刚石厚膜，其特征在于：所述掺杂层（3）中掺杂的金属为W、Ti、Cr中的一种或多种，所述掺杂层（3）的厚度为80~120nm。

6.如权利要求1所述的含金属掺杂的类金刚石厚膜，其特征在于：所述功能层（4）为DLC膜层，其厚度为450~550nm。

7.如权利要求1所述的含金属掺杂的类金刚石厚膜的制备方法，其特征在于：所述功能层（4）的厚度大于所述掺杂层（3）的厚度。

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