[实用新型]高真空多级罗茨泵多功能检测装置

权利要求书

1.高真空多级罗茨泵多功能检测装置，包括一检测用总管路，其特征在于，还包括至少两条检测用子管路；

各检测用子管路上均设有一用于安装罗茨泵的罗茨泵安装位，罗茨泵的进气口与一密封罩体联通，以所述密封罩体作为试验罩，罗茨泵的出气口与所述检测用总管路连接；

所述检测用总管路的末端连接有一用于安装前级泵的前级泵安装位，前级泵的进气口与所述检测用总管路联通，前级泵的出气口与大气联通；

所述检测用总管路上还设有一所述试验罩，所述试验罩位于所述前级泵安装位与距离前级泵最近的检测用子管路之间。

2.根据权利要求1所述的高真空多级罗茨泵多功能检测装置，其特征在于，各试验罩均连接有一真空表、一微调阀门。

3.根据权利要求2所述的高真空多级罗茨泵多功能检测装置，其特征在于，各检测用子管路上均还设有一流量测量装置，各流量测量装置均通过所在检测用子管路上的微调阀门连接试验罩。

4.根据权利要求3所述的高真空多级罗茨泵多功能检测装置，其特征在于，各检测用子管路上均还设有一功率表，所述功率表与高真空多级罗茨泵连接。

5.根据权利要求4所述的高真空多级罗茨泵多功能检测装置，其特征在于，高真空多级罗茨泵多功能检测装置还包括检测用子管路开闭用控制阀门，各检测用子管路的前方均设有一控制阀门，各控制阀门均位于检测用总管路上。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的高真空多级罗茨泵多功能检测装置，其特征在于，被检测的罗茨泵为高真空多级罗茨泵，所述高真空多级罗茨泵包括一罗茨泵主体，所述罗茨泵主体设有一进气口，以及一出气口，所述罗茨泵主体包括一罗茨泵腔，所述罗茨泵腔底部设有一底座，所述进气口和所述出气口分别设置在所述罗茨泵腔两侧。

7.根据权利要求6所述的高真空多级罗茨泵多功能检测装置，其特征在于，所述高真空多级罗茨泵的进气口设有锁紧接头，出气口设有与所述锁紧接头配套的锁紧接口；

罗茨泵安装位与所述检测用总管路联通的端口设有一所述锁紧接口配套的接头，与所述试验罩联通的端口设有一所述锁紧接头配套的接口。

8.根据权利要求7所述的高真空多级罗茨泵多功能检测装置，其特征在于，所述罗茨泵主体还包括一提供动力的电机，所述电机设有电机外壳，所述电机外壳为密封腔体结构，所述电机外壳与所述罗茨泵腔联通。