[实用新型]沟槽对称度测量装置有效
| 申请号： | 201320620786.8 | 申请日： | 2013-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN203489868U | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 刘军;刘建明 | 申请（专利权）人： | 东方电气集团东方电机有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/24 | 分类号： | G01B21/24 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 钱成岑;詹永斌 |
| 地址： | 618000 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沟槽 对称 测量 装置 | ||
1.一种沟槽对称度测量装置，其特征在于：包括主体架（11）、旋转机构（12）、测量组件和电感测微仪；所述旋转机构（12）设置于主体架（11）顶部，所述测量组件通过旋转机构（12）设置于主体架（11）中部，且测量组件能随旋转机构（12）绕轴心旋转，所述主体架（11）的一侧面设置有定位机构；所述电感测微仪包括传感测量头（14）和显示控制器，所述传感测量头（14）设置于测量组件上，传感测量头（14）与显示控制器连接进行数据测量并将测量电信号传输至显示控制器。
2.如权利要求1所述的沟槽对称度测量装置，其特征在于：所述传感测量头（14）通过可调节机构设置于测量组件，构成传感测量头（14）能在测量组件上沿传感测量头（14）轴向调节的结构。
3.如权利要求2所述的沟槽对称度测量装置，其特征在于：所述测量组件包括测量组件架体（15）和设置于测量组件架体（15）的安装块（16），所述传感测量头（14）设置于安装块（16）上，所述可调节机构包括传感测量头（14）和安装块（16）间配合的第一调节机构。
4.如权利要求2或3所述的沟槽对称度测量装置，其特征在于：所述测量组件包括测量组件架体（15）和设置于测量组件架体（15）的安装块（16），所述可调节机构包括测量组件架体（15）和安装块（16）间配合的第二调节机构。
5.如权利要求1所述的沟槽对称度测量装置，其特征在于：所述定位机构与主体架（11）可拆卸连接。
6.如权利要求1所述的沟槽对称度测量装置，其特征在于：所述定位机构所在主体架（11）的反侧面设置有压紧机构。
7.如权利要求1所述的沟槽对称度测量装置，其特征在于：所述旋转机构（12）的安装底面还设置有带磁性的测量贴合块（18）。
8.一种如权利要求1所述的沟槽对称度测量装置相配套的校准装置，其特征在于：包括校准架（21），所述校准架（21）的两内侧面设置有一组标准块（22）。
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