[实用新型]在球栅阵列结构中使用的植球设备有效

专利信息
申请号: 201320620842.8 申请日: 2013-10-09
公开(公告)号: CN203521378U 公开(公告)日: 2014-04-02
发明(设计)人: 刘劲松;任永军 申请(专利权)人: 上海微松工业自动化有限公司;上海理工大学
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L21/687
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 林君如
地址: 201114 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 阵列 结构 使用 设备
【权利要求书】:

1.在球栅阵列结构中使用的植球设备,其特征在于,包括供胶机构(1)、转印机构(2)、供球机构(3)、植球机构(4)、工作平台(5)、残余球检测机构(6)、X、Z轴运动机构(7)、底部架台(8),

所述的供胶机构(1)及供球机构(3)对应设置在底部架台(8)的顶部,所述的转印机构(2)架设在X、Z轴运动机构(7)上并位于供胶机构(1)的上方,所述的工作平台(5)设在供胶机构(1)及供球机构(3)之间,所述的植球机构(4)架设在X、Z轴运动机构(7)上并位于工作平台(5)的上方,所述的残余球检测机构(6)设在工作平台(5)一侧。

2.根据权利要求1所述的在球栅阵列结构中使用的植球设备,其特征在于,所述的工作平台(5)放置装有芯片的载具,套设在工作平台Y轴上并沿Y轴方向运动。

3.根据权利要求1所述的在球栅阵列结构中使用的植球设备,其特征在于,所述的供胶机构(1)和转印机构(2)对托盘内芯片点胶,供胶机构(1)上设有刮胶刀(17)及供胶盒(18)。

4.根据权利要求1所述的在球栅阵列结构中使用的植球设备,其特征在于,所述的供球机构(3)和植球机构(4)对托盘内芯片植球。

5.根据权利要求1所述的在球栅阵列结构中使用的植球设备,其特征在于,所述的残余球检测和除去机构(6)对植球后植球机构(4)上残余球进行检测和清除。

6.根据权利要求1所述的在球栅阵列结构中使用的植球设备,其特征在于,所述的X、Z轴运动机构(7)由转印机构Z轴(9)、转印机构X轴(10)、植球机构Z轴(11)、植球机构X轴(12)组成。

7.根据权利要求6所述的在球栅阵列结构中使用的植球设备,其特征在于,所述的转印机构Z轴(9)、转印机构X轴(10)控制转印机构(2)在Z轴及X轴方向上的运动。

8.根据权利要求6所述的在球栅阵列结构中使用的植球设备,其特征在于,所述的植球机构Z轴(11)、植球机构X轴(12)控制植球机构(4)在Z轴及X轴方向上的运动。

9.根据权利要求1所述的在球栅阵列结构中使用的植球设备,其特征在于,所述的植球设备好包括顶部安全罩,罩设在底部架台(8)上,顶部安全罩由外壳体隔离板、触摸屏、按钮及三色报警灯构成。

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