[实用新型]分立式碳纳米管阵列放电电离源有效
申请号: | 201320622545.7 | 申请日: | 2013-10-10 |
公开(公告)号: | CN203521368U | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 李灵锋;汪小知;李鹏 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H01J49/16 | 分类号: | H01J49/16 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 张建纲 |
地址: | 310013 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 立式 纳米 阵列 放电 电离 | ||
1.一种分立式碳纳米管阵列放电电离源,包括电源;
所述电源一端连接碳纳米管阵列放电电极,另一端连接对电极,所述碳纳米管阵列放电电极和所述对电极之间形成样品通过的通道,其特征在于:所述碳纳米管阵列放电电极包括基层,所述基层上设置有分立式针尖阵列,在所述分立式针尖阵列上竖直长出有碳纳米管。
2.根据权利要求1所述的分立式碳纳米管阵列放电电离源,其特征在于:所述基层为硅片。
3.根据权利要求2所述的分立式碳纳米管阵列放电电离源,其特征在于:在所述硅片上采用深反应刻蚀形成垂直于所述硅片的分立式针尖阵列,在所述分立式针尖阵列上竖直长出单根或多根碳纳米管。
4.根据权利要求3所述的分立式碳纳米管阵列放电电离源,其特征在于:所述碳纳米管的端部的曲率半径为20-90nm。
5.根据权利要求4所述的分立式碳纳米管阵列放电电离源,其特征在于: 所述分立式针尖阵列的外径为0.5-5μm。
6.根据权利要求5所述的分立式碳纳米管阵列放电电离源,其特征在于: 所述针尖阵列之间的距离为1-20μm。
7.根据权利要求6所述的分立式碳纳米管阵列放电电离源,其特征在于:所述电源提供1.5-5 kV的电压。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学,未经浙江大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320622545.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:拉丝机的卷筒冷却结构
- 下一篇:激光打点装置