[实用新型]晶圆盒底盘

权利要求书

1.一种晶圆盒底盘，其特征在于包括：

一下盖以及一封板，该下盖与该封板盖合形成该晶圆盒底盘；

一转动装置，与该下盖相连，其设有至少二辅助组件及至少二弧形轨道；

一弹性定位组件，设有至少二凹槽，该弹性定位组件与该辅助组件相连，用以限定该辅助组件的移动范围；

至少二门闩组件，与该弧形轨道相连；以及

一T型联结组件，该T型联结组件与该门闩组件以及该下盖部分连接；

其中，该转动装置带动该门闩组件于该弧形轨道中移动，并使该辅助组件在该弹性定位组件内撑开转动，并利用该弹性定位组件的该凹槽来达到定位，且该门闩组件带动该T型联结组件转动，该T型联结组件则使该门闩组件朝斜方向推进。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒底盘，其特征在于，所述下盖为一透明下盖。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒底盘，其特征在于，所述下盖还设有至少一破真空孔、至少二开口以及一密封组件，该破真空孔依序设有一滤网以及一气密罩盖，该密封组件设有至少一补强肋，该开口分别设置在该下盖两侧。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒底盘，其特征在于，所述密封组件置于该下盖之一沟槽中，该沟槽并具有至少一孔洞，供该补强肋通过。

5.根据权利要求1所述的晶圆盒底盘，其特征在于，所述封板还设有至少一排水孔以及一容置空间，该排水孔设置于该封板底部，该容置空间设置于该封板外部。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒底盘，其特征在于，所述容置空间用以与一夹盖盖合，该夹盖并设有一无线射频辨识组件。

7.根据权利要求3所述的晶圆盒底盘，其特征在于，所述封板并与至少一十字肋相连，该十字肋用以压制该气密罩盖防止该气密罩盖掉落。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒底盘，其特征在于，所述辅助组件还设有至少一固定组件，用以防止该辅助组件脱出该弹性定位组件。

9.根据权利要求1所述的晶圆盒底盘，其特征在于，所述辅助组件为轴承、螺帽或套筒。