[实用新型]一种石墨舟有效
| 申请号： | 201320639372.X | 申请日： | 2013-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN203491232U | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 竺峰;赵国成 | 申请（专利权）人： | 宁波富星太阳能有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;C23C16/458;H01L31/18 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人： | 景丰强 |
| 地址： | 315032 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 | ||
【权利要求书】：
1.一种石墨舟，包括石墨舟片(1)和工艺点(2)，所述石墨舟片(1)紧固在石墨舟底座上，所述的工艺点(2)设在石墨舟片(1)上，其特征在于：所述的石墨舟片(1)的数量为21片，相邻所述石墨舟片(1)之间的间距为10mm，所述石墨舟上设置有6个工位(11)，所述石墨舟片(1)限位地串联在一绝缘杆(5)上。
2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：所述绝缘杆(5)的两端伸出石墨舟片(1)而用螺母(4)螺纹连接，相邻的所述石墨舟片(1)间套置有绝缘圈(3)。
3.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：所述工艺点(2)包括圆柱体(21)和一对卡件(22)，所述圆柱体(21)安装在石墨舟片(1)的安装孔内，所述卡件(22)对称设于圆柱体(21)的两侧端面上且伸出安装孔，所述卡件(22)的外端面为菱形，所述卡件(22)具有向内倾斜的斜边(221)，所述斜边(221)与圆柱体(21)外端面形成供硅片设置的卡位部(6)。
4.根据权利要求3所述的石墨舟，其特征在于：所述卡件(22)与圆柱体(21)之间设有一基座(23)，所述基座(23)具有向内倾斜的外壁(231)，所述外壁(231)与卡件(22)的斜边(221)构成所述的卡位部(6)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
