[实用新型]安全联锁装置

说明书

技术领域

本申请涉及一种半导体制造工艺中的安全联锁装置，用于将附属设备的状态汇报给主设备。

背景技术

为进行某一项半导体工艺，通常需要直接执行该项工艺的主设备，还需要一些附属设备。主设备如高温炉、化学气相淀积（CVD）反应器、光刻机、等离子体刻蚀反应器、离子注入机等，通常放置在洁净室内，由专人24小时值守，一旦主设备出现异常可得到及时处理。而附属设备如尾气处理器（Local Scrubber）、漏水漏液检测器、气体泄漏检测器、压缩机、冷却器、供气供液系统等，一般在远离洁净室的区域，无法做到24小时有人照料。通常，主设备和附属设备不在同一楼层，对附属设备采用采用定期巡检制度发现异常。

主设备和附属设备之间通常需要使用大量的冷却水、自来水、有毒气体等。相当一部分主设备和附属设备之间没有安全联锁装置，有些附属设备甚至没有提供安全联锁接口，这使得主设备无法监控附属设备的状态。

例如图1所示，CVD反应器会产生大量有毒反应生成物，这些生成物大多对人体和环境有害。通常以真空泵抽除这些生成物，然后通过尾气处理器以燃烧、加热和水淋方式去除大部分的生成物，剩余的少量生成物经中央动力酸排气系统处理后排向大气。图1中，CVD反应器就是主设备，真空泵和尾气处理器就是附属设备，它们位于不同的区域，通过各种管道相连接。如果CVD反应器和尾气处理器之间没有安全联锁装置，那么当尾气处理器出现漏水、降温等异常时，CVD反应器就无法及时发现而继续生产制造，这样会造成大面积漏水或尾气不处理直接排向大气等安全事故。

实用新型内容

本申请所要解决的技术问题是提供一种用于将附属设备的故障报告给主设备的安全联锁装置。

为解决上述技术问题，本申请安全联锁装置具有一对输出端子，连接主设备的干接点输入接口；还具有至少一对输入端子，连接附属设备的干接点输出接口；一对输出端子与每一对输入端子之间均通过两条导线分别相连接，在其中一条导线上设有开关；

或者，本申请安全联锁装置具有一对输出端子，连接主设备的干接点输入接口；还具有至少一对输入端子，连接附属设备的湿接点输出接口；每一对输入端子之间串联着一个开关和一个继电器的感应元件；一对输出端子之间并联有所有继电器的执行元件。

进一步地，当具有多对输入端子时，每对输入端子连接一台或多台附属设备的多个干接点或湿接点输出接口。

进一步地，所述开关为拨动开关或按钮。

进一步地，所述继电器为直流继电器，且其感应元件的阀值电压为附属设备的湿接点输出接口的输出电压。

本申请将附属设备的故障状态纳入了主设备的监控范围，只要有任何一个附属设备有异常，主设备就能监控到并及时采取相应的动作，特别适合于旧型号半导体制造设备的安全改造，具有成本低、不需要修改主设备软件的特点。由于主设备可以及时发现附属设备的异常情况，可以有效避免附属设备对产品、设备、环境的危害。

附图说明

图1是半导体制造工艺中的主设备与附属设备的连接关系示意图；

图2是主设备的干接点输入接口（只能接收开关状态信号）的示意图；

图3a是附属设备的干接点输出接口（只能输出开关状态信号）的示意图；

图3b是附属设备的湿接点输出接口（只能输出或不输出电信号）的示意图；

图4a、图4b是本申请安全联锁装置的实施例一的两个示意图；

图5a、图5b是本申请安全联锁装置的实施例二的两个示意图。

具体实施方式

本申请安全联锁装置用于将附属设备的故障及时通报给与其有工作联系的主设备。请参阅图2，主设备一般都具有接受外部信号的一个或多个接口，每个接口由一对端子组成。主设备可以检测到这一对端子之间是闭合状态还是断开状态，但不允许这一对端子连接任何具有电压、电流的输入信号。因此，这一对端子实际上是干接点（dry contact）输入接口。

附属设备通常具有至少一个控制器（如单片机、PLC等），可能还具有一个或多个传感器。附属设备的各种状态由传感器检测到，并发送给控制器，控制器判断如果属于故障情况则发出报警信号。有一种较新的附属设备可以直接向外输出没有电压、电流的开关状态信号（干接点信号），如图3a所示；另一种较旧的附属设备则不能直接向外输出干接点信号，只能向外输出具有电压、电流的湿接点（wet contact）信号，如图3b所示。本申请为这两种附属设备提供了不同的安全联锁装置。