[实用新型]一种石墨舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石墨舟。

背景技术

随着太阳能电池片的需求不断增长，各电池片生产商都想在不增加设备、动力和气体的情况下提高产品质量，同时也降低成本。

石墨舟通常由石墨舟片、石墨块等零部件组合形成。在PECVD工序，用来固定石墨舟的工具是石墨杆和陶瓷杆，石墨杆和陶瓷杆的质地虽然硬，但是经过HF酸的反复清洗和渡硅片时的反复高温，陶瓷杆和石墨杆经常断裂，造成机械手插硅片时掉片，石墨杆的导电能力减弱，出现质量问题。因此在工作时，经常需要更换折掉的杆，如果发现不及时，机械手在插取硅片时会发生掉片现象，大大影响了工作效率。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种石墨舟，采用在陶瓷杆和石墨杆中间加入加强筋的方式，增强了石墨杆和陶瓷杆的强度，降低了陶瓷杆和石墨杆的折断率，有效避免了硅片掉片和频繁更换石墨杆、陶瓷杆，大大提高了工作效率，同时节约了成本。

本实用新型所采取的技术方案是：

一种石墨舟，包括石墨片、陶瓷杆和石墨杆，陶瓷杆和石墨杆内部包裹加强筋。

优选的，加强筋为金属材质。

进一步优选的，加强筋的材质为铁。

在陶瓷杆和石墨杆的中间加入粗糙的铁棍作为加强筋，使其完全包裹在陶瓷和石墨的正中间，以减少偏差，避免碰掉外面的保护层，避免了铁对硅片造成污染。

最好使用粗糙的铁棍，能够增加外面陶瓷和石墨的附着力。

石墨舟上的陶瓷杆一般为含量高于99%的氧化铝瓷，热涨系数8.0×10^-6米/摄氏度，石墨杆的热涨系数为小于2.4×10^-4米/摄氏度，而铁的热涨系数为12×10^-6米/摄氏度,三种材质的热涨系数接近，因此选用铁作为加强筋材料。并且铁棍的价格低廉，硬度比陶瓷和石墨高，提高了陶瓷杆和石墨杆的强度，降低陶瓷杆和石墨杆的折断率，有效避免了硅片掉片和频繁更换石墨杆、陶瓷杆，大大提高了工作效率，同时节约了成本。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：

本实用新型采用在陶瓷杆和石墨杆中间加入加强筋的方式，增强了石墨杆和陶瓷杆的强度，降低了陶瓷杆和石墨杆的折断率，有效避免了硅片掉片和频繁更换石墨杆、陶瓷杆，大大提高了工作效率，同时节约了成本。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是陶瓷杆的截面示意图；

图3是石墨杆的截面示意图。

其中，1、石墨片；2、陶瓷杆；3、石墨杆；4、加强筋。

具体实施方式

一种石墨舟，包括石墨片1、陶瓷杆2和石墨杆3，陶瓷杆2和石墨杆3内部包裹加强筋4。

加强筋4为金属材质。

加强筋4的材质为铁。

单纯的陶瓷杆2和石墨杆3的质地虽然硬，但是经过HF酸的反复清洗和渡硅片时的反复高温，陶瓷杆2和石墨杆3经常断裂，需要频繁更换陶瓷杆2和石墨杆3，并且容易造成机械手插硅片时掉片，增加了缺陷硅片的产生，影响了工作效率，降低了生产质量。

本实用新型对通过陶瓷杆2和石墨杆3进行改进，克服了上述缺陷。

本实用新型采用在陶瓷杆2和石墨杆3中间加入加强筋4的方式，增强了陶瓷杆2和石墨杆3的强度，降低了陶瓷杆2和石墨杆3的折断率，有效避免了硅片掉片和频繁更换石墨杆3、陶瓷杆2，大大提高了工作效率，同时节约了成本。