[实用新型]快速获取硅片光致发光影像的Si-CCD照相机

权利要求书

1.一种快速获取硅片光致发光影像的Si-CCD照相机，其特征在于，包括： 

Si-CCD感光器件，用以拍摄光致发光影像； 

电子线路板，电性连接所述Si-CCD感光器件，用以向所述Si-CCD感光器件提供电源，驱动，数模转换及接口电路； 

帕尔帖制冷元件，设置在所述Si-CCD感光器件和电子线路板下侧，用以将所述Si-CCD感光器件的温度降低到至少低于-20摄氏度； 

导热的真空密封模块，用以导热和散热，所述导热的真空密封模块的内部真空，所述Si-CCD感光器件、所述电子线路板以及所述帕尔帖制冷元件设置在所述导热的真空密封模块的内部，光线可透过所述导热的真空密封模块照射在所述Si-CCD感光器件上； 

散热片，设置在所述导热的真空密封模块外侧，用以散发所述帕尔帖制冷元件在制冷过程中所产生的热量。 

2.根据权利要求1所述的快速获取硅片光致发光影像的Si-CCD照相机，其特征在于，所述导热的真空密封模块包括： 

窗口密封玻璃，设置在所述Si-CCD感光器件上侧，外部光线透过所述窗口密封玻璃照射在所述Si-CCD感光器件上； 

散热真空密封体，设置在所述帕尔帖制冷元件下侧，并与所述窗口密封玻璃密封连接，所述窗口密封玻璃与所述散热真空密封体之间真空。 

3.根据权利要求2所述的快速获取硅片光致发光影像的Si-CCD照相机，其特征在于，所述导热的真空密封模块还包括：绝缘绝热密封圈，设置在所述窗口密封玻璃和所述散热真空密封体之间，起密封作用。 

4.根据权利要求1所述的快速获取硅片光致发光影像的Si-CCD照相机，其特征在于，所述散热片采用风冷散热或水冷散热。 

5.根据权利要求1所述的快速获取硅片光致发光影像的Si-CCD照相机，其特征在于，所述帕尔帖制冷元件包括一片帕尔帖制冷元件或者多片帕尔帖制冷元件叠加在一起。 

6.一种快速获取硅片光致发光影像的Si-CCD照相机，其特征在于，包 括： 

Si-CCD感光器件，用以拍摄光致发光影像； 

电子线路板，电性连接所述Si-CCD感光器件，用以向所述Si-CCD感光器件提供电源，驱动，数模转换及接口电路； 

第一帕尔帖制冷元件，设置在所述Si-CCD感光器件和电子线路板下侧，用以将所述Si-CCD感光器件的温度降低到至少低于-20摄氏度； 

导热的真空密封模块，用以导热和散热，所述导热的真空密封模块的内部真空，所述Si-CCD感光器件、所述电子线路板以及所述第一帕尔帖制冷元件设置在所述导热的真空密封模块的内部，光线可透过所述导热的真空密封模块照射在所述Si-CCD感光器件上； 

冷凝去湿块，设置在所述导热的真空密封模块下方，用以冷凝空气中的水分，起去湿作用； 

导热绝缘层，设置在所述冷凝去湿块与所述导热的真空密封模块之间，用以导热和绝缘； 

第二帕尔帖制冷元件，设置在所述冷凝去湿块下侧，用以维持所述冷凝去湿块在一预设温度，以增加去湿效果； 

空气加热器，设置在所述第二帕尔帖制冷元件下侧，用以加热经冷凝去湿后的空气； 

真空风扇，用以将未经冷凝去湿的空气送入所述冷凝去湿块，将冷凝去湿后的空气送入Si-CCD感光器件周围，形成循环。 

7.根据权利要求6所述的快速获取硅片光致发光影像的Si-CCD照相机，其特征在于，所述导热的真空密封模块包括： 

窗口密封玻璃，设置在所述Si-CCD感光器件上侧，外部光线透过所述窗口密封玻璃照射在所述Si-CCD感光器件上； 

散热真空密封体，设置在所述第一帕尔帖制冷元件下侧，并与所述窗口密封玻璃密封连接，所述窗口密封玻璃与所述散热真空密封体之间真空。 

8.根据权利要求7所述的快速获取硅片光致发光影像的Si-CCD照相机，其特征在于，所述导热的真空密封模块还包括：绝缘绝热密封圈，设置在所 述窗口密封玻璃和所述散热真空密封体之间，起密封作用。 

9.根据权利要求6所述的快速获取硅片光致发光影像的Si-CCD照相机，其特征在于，所述第一帕尔帖制冷元件或所述第二帕尔帖制冷元件包括一片帕尔帖制冷元件或者多片帕尔帖制冷元件叠加在一起。