[实用新型]一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统，包括氩气进口直管（7）、石墨坩埚（12）和盖在所述石墨坩埚（12）顶部的盖板（8），所述氩气进口直管（7）穿过所述盖板（8）将氩气导入所述石墨坩埚（12）内，其特征在于，所述石墨坩埚（12）的开口边缘开有若干凹槽(6)，所述盖板(8)和所述凹槽(6)构成石墨坩埚的顶部侧排气口(15)，所述顶部盖板(8)上绕所述氩气进口直管(7)对称分布若干盖板排气口(14)，所述氩气进口直管(7)出口端与喇叭形进口管(10)的进口端连接，所述氩气进口直管(7)出口端侧壁上沿氩气进口直管的中心轴线对称分布有若干出口气孔(9)，所述喇叭形进口管(10)的出口端与喷淋式进口管(5)的进口端连接，所述喷淋式进口管(5)为有底管，所述喷淋式进口管(5)的底部沿氩气进口直管的中心轴线对称分布有若干底部气孔(3)，所述喷淋式进口管(5)的侧壁上也沿氩气进口直管的中心轴线对称开有若干侧壁气孔(4)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统，其特征在于，所述凹槽(6)的形状为圆形或三角形或多边形。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统，其特征在于，所述盖板排气口(14)的形状为圆形或三角形或多边形。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统，其特征在于，所述出口气孔(9)的形状为圆形或三角形或多边形。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统，其特征在于，所述底部气孔(3)的形状为圆形或三角形或多边形。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统，其特征在于，所述侧壁气孔(4)的形状为圆形或三角形或多边形。