[实用新型]精密液体气相发生器有效
| 申请号： | 201320661002.6 | 申请日： | 2013-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN203525577U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 方辉;邾根祥;江晓平 | 申请（专利权）人： | 合肥科晶材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/04 | 分类号： | B01F3/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 精密 液体 发生器 | ||
【权利要求书】：
1.一种精密液体气相发生器，其特征在于：包括气液混合控制管路，所述气液混合控制管路包括气体进入管路、液体进入管路，所述气体进入管路、液体进入管路结合后经过气液混合加热系统加热，构成高温混合气体出口管路。
2.根据权利要求1所述的精密液体气相发生器，其特征在于：所述气体进入管路、液体进入管路结合处设有四通阀，所述四通阀将气体进入管路、液体进入管路结合后使其流入通往气液混合加热系统的混合管路，所述四通阀的第四条管路连接有密微型可调安全阀。
3.根据权利要求1或2所述的精密液体气相发生器，其特征在于：所述气体进入管路上设有双卡套角式穿板截止阀及气体流量控制器。
4.根据权利要求1或2所述的精密液体气相发生器，其特征在于：所述液体进入管路上设有数字液体蠕动泵。
5.根据权利要求1或2所述的精密液体气相发生器，其特征在于：所述气液混合加热系统进入端的管路上设有压力表。
6.根据权利要求1所述的精密液体气相发生器，其特征在于：所述高温混合气体出口管路上设置有保温装置。
7.根据权利要求1所述的精密液体气相发生器，其特征在于：所述气液混合加热系统置于不锈钢或石英混合罐中。
8.根据权利要求6所述的精密液体气相发生器，其特征在于：所述气液混合加热系统和保温装置分别采用两套独立的智能PID温控系统。
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