[实用新型]风冷型扩散泵真空机组有效
| 申请号： | 201320661039.9 | 申请日： | 2013-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN203532351U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 方辉;邾根祥;江晓平 | 申请（专利权）人： | 合肥科晶材料技术有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/04 | 分类号： | F04F9/04;F04F9/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 风冷 扩散 真空机组 | ||
【权利要求书】：
1.一种风冷型扩散泵真空机组，包括扩散泵组及控制系统，其特征在于：所述扩散泵组包括风冷型扩散泵，所述风冷型扩散泵连接有前级泵，所述风冷型扩散泵与前级泵之间的管路上安装有高真空阀门组，所述风冷型扩散泵、前级泵、高真空阀门组均与控制系统信号连接。
2.根据权利要求1所述的风冷型扩散泵真空机组，其特征在于：所述控制系统为PLC控制系统，连接在真空机组的控制屏上。
3.根据权利要求1或2所述的风冷型扩散泵真空机组，其特征在于：所述高真空阀门组上还设有与控制系统信号相接的防腐蚀型真空测量装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥科晶材料技术有限公司，未经合肥科晶材料技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320661039.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
