[实用新型]一种超微量气体流量测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种流量测量装置，特别是一种超微量气体流量测量装置。

背景技术

气体流量测量在科学研究和生产生活中有着广泛的应用，目前流量计测试最小量程为：MKS（10sccm，美国）、Brooks（3sccm，美国）、KOFLOC（10sccm，日本）。测试极限受到一定的限制，且价钱昂贵（2~3万元），市场推广受到了制约。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种不但可以测量超微量气体流量，而且也能安全测量高流量的气体流量的超微量气体流量测量装置。

本实用新型的目的是这样实现的，超微量气体流量测量装置，其特征是：至少包括密闭腔体，在密闭腔体内有气压温度传感器，气压温度传感器通过密封接口与密闭腔体外的处理单元电连接，密闭腔体通过管道与气体的流通通道相通。

所述的密闭腔体容量大于0.3升。

所述的处理单元包括放大滤波电路、带有A/D的端口的处理器、键盘、电源电路、存贮器、时钟电路和显示器，气压温度传感器通过放大滤波电路后与处理器电连接，处理器带有A/D的端口，经放大的气压温度传感器电信号与A/D的端口电连接，处理器通过I/O口与键盘、存贮器、时钟电路和显示器电连接，电源电路包括电池和DC/DC电路，电池通过DC/DC电路提供给处理器、存贮器、时钟电路和显示器工作电压；显示器采用LCD显示器。

所述的气压温度传感器为BMP085，可同时测量气压与温度，BMP085通过密封接口与密闭腔体外的处理单元电连接。 

在密闭腔体上有安全阀。

本实用新型的工作原理为：将气体通过进气管道通入密闭腔体，通过气压温度传感器的芯片采集得到气压的变化，并将数据经过分析、处理得到气体的流量值，数据处理显示模块中提供了温度校准方案以弥补变温时的影响，最终在模块中数码显示所测流量。

本实用新型的优点是：相比传统的气体流量计成本造价占绝对优势的。应用市场不但覆盖了传统气体流量计无法涉足的超微流量测量（精密半导体、细胞培养发酵、精密气体混合分析、微量气体检测），而且可低成本应用于通用气体流量测量，应用前景广泛。

附图说明

下面结合实施例附图对本实用新型作进一步说明：

图1是本实用新型实施例结构原理图。

图2是本实用新型实施例处理单元的结构原理图。

图中，1、气体；2、管道；3、密闭腔体；4、气压温度传感器；5、安全阀；6、处理单元；7、密封接口。

具体实施方式

实施例1：通常环境下的流量获取

如图1所示，超微量气体流量测量装置，至少包括密闭腔体3，在密闭腔体3内有气压温度传感器4，气压温度传感器4通过密封接口7与密闭腔体外的处理单元6电连接，密闭腔体3通过管道2与气体1的流通通道相通。

所述的密闭腔体3容量大于0.3升。

如图2所示，所述的处理单元6包括放大滤波电路601、带有A/D的端口的处理器602、键盘603、电源电路604、存贮器605、时钟电路606和显示器607，气压温度传感器4通过放大滤波电路601后与处理器602电连接，处理器602带有A/D的端口，经放大的气压温度传感器4电信号与A/D的端口电连接，处理器602通过I/O口与键盘603、存贮器605、时钟电路606和显示器607电连接，电源电路604包括电池和DC/DC电路，电池通过DC/DC电路提供给处理器602、存贮器605、时钟电路606和显示器607工作电压。显示器607采用LCD显示器。

本实用新型的工作原理为：将气体通过管道通入密闭腔体，通过气压温度传感器芯片采集得到气压的变化，并将数据经过分析、处理得到气体的流量值。

所述的气压温度传感器4为BMP085，此实例可直接采集气压部分数据，通过密封接口7与密闭腔体外的处理单元6电连接。

实施例2：超微流量或变温环境下的流量获取

与实施例1不同的是实施例2是所述的密闭腔体内对于气压温度传感器中温度部分的采集，采集到的温度用于校准超低流量时温度波动对气压产生的扰动影响；或温度变化范围较大的时候，温度对气体流量的影响。

实施例3

在密闭腔体上有安全阀5，以保证气压过大时，释放密闭腔体3内的压力以保证安全。

  本实施例没有详细叙述的部件和结构属本行业的公知部件和常用结构或常用手段，这里不一一叙述。