[实用新型]具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒。

背景技术

在半导体的生产工艺中，经常需要使用晶圆盒对晶圆在不同机台间进行工艺制程或者量测。一般晶圆盒从一个机台到另一个机台，都是通过操作者手抱实现，或者将晶圆盒放在推车里运送到下个机台。目前，洁净室中虽然有自动化物料传送系统，但晶圆盒从机台到自动化物料传送系统还是需要操作者手抱，或通过推车传送。在操作者手动操作的时候，有时可能发生意外，造成晶圆盒掉在地上，或者晶圆盒发生意外碰撞。如果发生上述现象，严重时，会造成晶圆盒内的晶圆破片，即便没有发生破片，也会因为碰撞引发的磨损致使颗粒物质增多，导致产品良率的降低。

对于推车倾倒，或者明显看到晶圆盒掉落造成破片，一般操作者会基于职业操守如实上报，以便及时进行处理，但对于意外碰撞，因为不同的操作者对于碰撞的严重程度的认知不同，不一定会及时上报。如此，收到过意外碰撞的晶圆盒后续会造成颗粒物质过多，影响产品良率，而且还不易分析出良率低的原因。

目前，虽然有贴纸状的冲击检测器，其可以贴在晶圆盒上来检测晶圆盒是否出现撞击。该改冲击检测器存在以下问题：

首先，这种贴纸状的冲击检测器是一次性的。如果经受得撞击大于其阈值，内层玻璃管会破裂，两种液体混合后会变红色，但再无检测功能，如此会使得运作成本变高。

其次，当贴纸状的冲击检测器失效后，即便生产线上愿意花成本来继续粘贴新的上去，其旧的已经失效的冲击检测器的去处是比较困难的，因为为了使冲击检测器牢固紧贴晶圆盒，其背胶很牢。如果不用力刮掉，晶圆盒表面会有残胶，时间久了是一个颗粒杂质产生的源头。而如果用力去除，又会损伤晶圆盒。

其三，此冲击检测器仅能提供视觉提醒，无法立刻触发任何系统进行提醒，因此，必须依靠操作者及时发现，及时上报才行。

因此，如何提供一种可以将晶圆盒异常碰撞或掉落的信息及时检测并触发提醒功能的具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒，可以将晶圆盒异常碰撞或掉落的信息及时检测并能被读取而触发提醒功能。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒，包括晶圆盒本体和电子标签，所述电子标签设置于所述晶圆盒本体的侧面，所述电子标签包括存储单元、重力加速度探测器和逻辑判断单元，所述逻辑判断单元分别和所述存储单元与所述重力加速度探测器连接。

优选的，在上述的具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒中，所述电子标签还包括液晶显示屏，所述液晶显示屏和所述存储单元连接。

优选的，在上述的具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒中，所述存储单元包括最大的加速度允许值存放单元和加速度超标与否存放单元，所述最大的加速度允许值存放单元和加速度超标与否存放单元分别与所述逻辑判断单元连接，所述最大的加速度允许值存放单元和加速度超标与否存放单元分别与所述液晶显示屏连接。

优选的，在上述的具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒中，所述存储单元还包括基本信息单元，所述基本信息单元与所述液晶显示屏连接。

优选的，在上述的具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒中，所述晶圆盒本体的一相对侧分别设有把手。

本实用新型提供的具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒，通过在晶圆盒的电子标签中增设重力加速度传感器，来实时检测晶圆盒的重力加速度。当晶圆盒在传送过程中发生意外时，如掉落碰撞，都会产生一定的重力加速度，所述重力加速度探测器可以实时侦测晶圆盒所受的重力加速度，逻辑判断单元根据重力加速度探测器侦测到的重力加速度信息，判断晶圆盒是否经受过碰撞或跌落，进而可以通过后续的机台读取电子标签中的信息，获知晶圆盒是否经受过碰撞或跌落，若经受过碰撞或跌落，则需要进行扫描检测是否完好，若没有经受过碰撞或者跌落，则可以后续工艺制程。

附图说明

本实用新型的具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型一实施例的具有异常碰撞或掉落检测功能的晶圆盒的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的电子标签的结构原理示意图；

图3是本实用新型一实施例的应用流程示意图。