[实用新型]大量程亚微米级高精度气电转换器

权利要求书

1. 大量程亚微米级高精度气电转换器，其特征是：包括双稳气压测量室（1）、精密信号调理部（12）及PC机（7）；精密信号调理部由压电传感器（2），精密可调双稳压基准电源（3），高增益放大器（11），调零器（10），有源滤波器（4），模拟输出接口（9），A/D转换器（5），单片机（6），232串行接口（8）组成；所述压缩空气进入气体稳压过滤器，所述气体稳压过滤器输出端连接双稳气压测量室（1）的输入端，所述压缩空气进入双稳气压测量室（1）进行气压比较测量，所述双稳气压测量室（1）的输出端连接到压电传感器（2）的输入端，所述精密可调双稳压基准电源（3）的一路电源输出端连接到压电传感器（2）的电源输入端，所述精密可调双稳压基准电源（3）的另一路电源输出端连接到调零器（10）的电源输入端，所述压电传感器（2）的检测信号输出端连接到高增益放大器（11）的输入端，所述高增益放大器（11）的输出端连接到调零器（10）的信号输入端，所述调零器（10）的输出端连接到有源滤波器（4）的输入端，所述有源滤波器（4）的一路模拟信号输出端连接到模拟输出接口（9）的输入端，所述有源滤波器（4）的另一路模拟信号输出端连接到A/D转换器（5）输入端，所述A/D转换器（5）的输出端连接到单片机（6）的数字信号输入端，所述单片机（6）的串行信号输入/输出端连接到232串行接口（8）的串行信号输出/输入端；所述232串行接口（8）与PC机（7）相连，PC机（7）通过232串行接口（8）与单片机（6）进行快速实时通讯，能实时地获取单片机（6）获得的气电转换器的测量值。

2.如权利要求1所述的大量程亚微米级高精度气电转换器，其特征是：

所述双稳气压测量室（1）由进气接口（1-6），总节流器（1-5），第一稳压腔（1-4），倍率调整阀（1-3），第一节流孔（1-2），第二节流孔（1-1），第二稳压腔（1-10），调零机构（1-9），出气接口（1-8），基体（1-7）组成；基体（1-7）上部设有进气接口（1-6），进气接口（1-6）后端设有总节流器（1-5），总节流器（1-5）下端设有第一稳压腔（1-4），总节流器（1-5）后端设有倍率调整阀（1-3），倍率调整阀（1-3）后端设有第一节流孔（1-2），第一节流孔（1-2）后端设有第二稳压腔（1-10），第二稳压腔（1-10）后端设有第一节流孔（1-1），基体（1-7）下部设有出气接口（1-8），出气接口（1-8）后端设有调零机构（1-9）。

3.如权利要求1所述的大量程亚微米级高精度气电转换器，其特征是：

所述模拟输出接口（9）输出与被测工件尺寸对应的直流电压信号，范围为-5VDC~+5VDC。

4.如权利要求1所述的大量程亚微米级高精度气电转换器，其特征是：

所述精密可调双稳压基准电源（3）由LM317线性稳压器和两个TL431精密可调基准电源组成；所述LM317线性稳压器（3）脚分别与第一电容（C1）的一端及第一电阻（R1）的一端相连；所述第一电容（C1）的另一端分别依次与第一TL431可调基准电源（3）脚、第三电阻（R3）的一端、第二电容（C2）的一端、第二TL431可调基准电源（3）脚及第三电容（C1）的一端相连；所述第一TL431可调基准电源（1）脚分别与LM317线性稳压器（1）脚及第一电阻（R1）的另一端相连；所述LM317线性稳压器（2）脚分别依次与第二电阻（R2）的一端、第二电容（C2）的另一端、第四电阻（R4）的一端及电源（VO1）相连；所述第一TL431可调基准电源（2）脚分别与第二电阻（R2）的另一端及第三电阻（R3）的另一端相连；第三电阻（R3）并接地；所述第二TL431可调基准电源（1）脚分别与第四电阻（R4）的另一端及电源（VO2）相连；所述第二TL431可调基准电源（2）脚分别与第四电阻（R4）的另一端及电源（VO2）相连；第三电容（C1）的另一端分别与第二TL431可调基准电源（2）脚、第二TL431可调基准电源（1）脚、第四电阻（R4）的另一端及电源（VO2）相连。