[实用新型]一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计

权利要求书

1.一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计，其特性在于，包括：

键合基板(1)，键合基板(1)中心刻蚀凹槽，凹槽底面布置，隧道极板(6)与隧道电极负极(12)相连，隧道凹槽周围分别布置检测电容下极板(8)和控制电容下极板(10)，所述检测电容下极板(8)和控制电容下极板(10)分别与检测电极负极(14)和控制电极负极(16)相连；

垫衬框体(2)，垫衬框体(2)设在键合基板(1)上方并与键合基板(1)相连接；

支撑框体(3)，支撑框体(3)设在垫衬框体（2）的上方并与垫衬框体(2)相连接，且下方设有隧道电极正极(13)、检测电极正极(15)和控制电极正极(17)；

悬臂梁(4)，悬臂梁(4)两端分别与支撑框体(3)和质量块(5)相连接，用于支撑质量块（5）；

质量块(5)，质量块(5) 下表面中心设置有隧尖(7)，隧尖（7）与隧道电极正极（13）相连接，隧尖（7）周围分别布置检测电容上极板（9）和控制电容上极板（11），检测电容上极板（9）和控制电容上极板（11）分别与检测电极正极（15）和控制电极正极（17）相连。

2.根据权利要求1所述的复合式加速度计，其特征在于，所述的键合基板（1）较垫衬框体(2)面积大，上表面布置的检测电容下极板(8)和控制电容下极板(10)成方框型且由内而外排布，检测电极负极(14)和控制电极负极(16),位于键合基板（1）边缘，与支撑框体(3)上布置的检测电极正极(15)和控制电极正极(17)相对应，所述的隧道极板(6)位于键合基板(1)中心方形凹槽底面。

3.根据权利要求2所述的复合式加速度计，其特征在于，所述检测电容下极板(8)和控制电容下极板(10)成方框型为非闭合方框型。

4.根据权利要求1所述的复合式加速度计，其特征在于，所述的悬臂梁(4)宽度大于厚度，其下表面与支撑框体(3)和质量块(4)下表面相平行,且其厚度小于支撑框体(3)或质量块(5)厚度。

5.根据权利要求1所述的复合式加速度计，其特征在于，所述的质量块(5)由悬臂梁(4)支撑于支撑框体(3)中心，且能由于力的作用上下运动。

6.根据权利要求1所述的复合式加速度计，其特征在于，隧尖长度小于键合基板(1)中心刻蚀的凹槽深度，但当质量块（5）与键合基板（1）接触后，隧尖（7）尖端与凹槽底面布置的隧道电极负极(12)的距离小于1nm。

7.根据权利要求1所述的复合式加速度计，其特征在于，检测电容上极板(9)和控制电容上极板(11)，其结构大小形状与检测电容下极板(8)和控制电容下极板(10)相同，位置相对。