[实用新型]一种制备AZO透明导电膜的磁控溅射装置有效
| 申请号： | 201320700145.3 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN203582960U | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 王芸;马立云;崔介东 | 申请（专利权）人： | 蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 倪波 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 azo 透明 导电 磁控溅射 装置 | ||
1.一种制备AZO透明导电膜的磁控溅射装置，包括真空室（1），气体流量控制器(14)，真空泵组 (15)，真空室（1）内设有衬底板(4)，衬底加热器(5)，AZO靶材(8)，不锈钢基底(9)和绝缘板(10)，其特征在于，所述真空室（1）内设有电磁线圈（2），电磁线圈（2）外接线圈电源（3），所述衬底板(4)，AZO靶材(8)，不锈钢基底(9)和绝缘板(10)均设置于所述电磁线圈（2）内，所述电磁线圈（2）内还设有外接加热电源（11）、电位电源（12）的钨丝（6），钨丝(6)与电位电源(12)的负极相连，并连接到接地铜板(16)，使钨丝（6）的电位为负，与接地的真空室(1)之间形成电场。
2.根据权利要求1所述的一种制备AZO透明导电膜的磁控溅射装置，其特征在于，所述不锈钢基底(9)通过导线连接基底电源(13)的负极并与接地铜板(16)相连，使不锈钢基底(9) 的电位为负。
3.根据权利要求1所述的一种制备AZO透明导电膜的磁控溅射装置，其特征在于，真空室（1）内设有钨丝支架（7），钨丝（6）安装在钨丝支架（7）上。
4.根据权利要求1所述的一种制备AZO透明导电膜的磁控溅射装置，其特征在于，所述电磁线圈的匝数为50~80匝。
5.根据权利要求1所述的一种制备AZO透明导电膜的磁控溅射装置，其特征在于，所述钨丝设置于AZO靶材上方3~5cm处。
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