[实用新型]一种可快速更换的囊式过滤装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种囊式过滤装置，更确切地说，涉及这样一种装置，该装置包括囊式过滤器和囊式过滤器易快速更换的分离装置，该装置能与和其相配的转接口安装并形成液体密封关系。

有多种液体是非常昂贵的，例如在微电子工业中使用的光致抗蚀剂。由于所涉及的范围必然是亚微米范围和更小的特征尺寸，控制这类液体的杂质非常必要。这类液体必须在使用前进行过滤处理，否则液体中的杂质会在微电子装置生产中对电子元件造成损害。

背景技术

通常有两种过滤装置。第一种是使用传统的过滤器，包括可重复使用的耐高压外壳和可更换的滤芯。外壳上带有与过滤装置其它部分相连的接口。更换滤芯时，需要先打开外壳，取出需要更换的滤芯，将新的滤芯装入外壳，然后封闭外壳。这种使用传统过滤器的过滤装置存在很多缺点。首先，更换操作需要很长时间，费时费力，特别是部分经过设计需要在特殊环境使用的外壳，入口很窄，尤其不便。其次，由于滤芯中通常充满了液体，外壳中也包含了一定量的液体，常常会发生液体泄漏的现象。在所泄漏液体是危险有害的情况下，泄漏液体将危及区域内正常工作的人员，并对附近的设备造成潜在的破坏影响。

第二类是将滤芯永久熔接在外壳上，通过分离装置使滤芯与外壳同时更换。更换过程包括将整个过滤器从过滤装置上拆下和将一个新的过滤器重新安装连接到系统上。用这种方式，可以很容易地完成更换操作，提高效率，且最大程度地减少了操作员工暴露于危险化学品面前的机会，减小了设备潜在破坏的影响，提高过滤系统连接的可靠性。

在工业应用中有多种第二类过滤装置。这类过滤装置都需要分别制造与过滤器相连的每个接口。一般情况下，是通过对过滤器每一个接口和过滤装置互相进行定位，用螺纹结构互相连接，从而保持液密密封。一个过滤装置至少是两个接口，多数为三或四个接口。这时，螺纹接口紧固显得很费时费力。当采用柔性管道时，如果连接时没有安装好就会再次出现液体泄漏的现象。所有这些问题会增加过滤器更换时所需的时间。

发明内容

本实用新型克服了已有技术的缺陷和限制，提供了一种可快速更换的囊式过滤装置。该囊式过滤装置包含一个分离装置和一个囊式过滤器，囊式过滤器可以卡入分离装置，也可以脱离分离装置。分离装置包含一个连接盖和一个固定环，固定环内侧与连接盖外侧通过螺纹连接。连接盖顶端有3个直径高度不同的接口，中间的接口的是滤液出口，另外两个分别是滤液进口和排气口。连接盖中间有一条独立的通道，通道与滤液出口相通。通道外侧与连接盖内侧形成一个环形空间，环形空间与滤液入口和排气口相通。连接盖螺纹下方有小孔，小孔内有一个弹珠。囊式过滤器有一个有分离结构的顶盖。顶盖中间有一个环形凸出部A，环形凸出部A可以插入通道。环形凸出部A外侧有一个环形凸出部B，环形凸出部B可以插入环形空间。环形凸出部A和环形凸出部B外侧都有一个放置密封圈的半圆槽。密封圈可以使环形凸出部A和环形凸出部B分别与相紧靠的壁侧形成密封效果。环形凸出部B的半圆槽下方还有一圈固定槽，弹珠可以卡入固定槽中。固定环内侧下端有一个斜面。更换囊式过滤器时，先将固定环向上旋转，使斜面到达弹珠所在高度，弹珠由于重力滑出固定槽，这时可以取出囊式过滤器。更换囊式过滤器后，固定环向下旋转，斜面下降，弹珠重新卡回固定槽，使滤芯固定在连接盖内。更换过程不需要重新连接3个接口，方便安全，更换快速，省时省力。

附图说明

下面将结合附图详细说明本实用新型的这些和其它方面及特征。

图1是本实用新型第一个实施例的外观图。

图2是本实用新型第一个实施例的分解图。

图3是本实用新型第一个实施例囊式过滤前安装前的截面图。

图4是本实用新型第一个实施例囊式过滤器安装后的截面图。

具体实施方式

图1是本实用新型第一个实施例的外观图。包含连接盖1、固定环2和囊式过滤器3。连接盖顶端有3个直径高度不同的接口，在中间最高的接口4-2是滤液出口，略小的接口4-1是滤液入口，最小的接口4-3是排气口。固定环2套在连接盖1外侧，囊式过滤器3固定在连接盖1下端。

图2是本实用新型第一个实施例的分解图。先将连接盖1与固定环2螺旋连接，放好密封圈和弹珠后，将囊式过滤器3塞入连接盖1。囊式过滤器3上端是一个有分离结构的顶盖5。