[实用新型]一种基于恒力控制的超声振幅测量装置

权利要求书

1.一种基于恒力控制的超声振幅测量装置，包括超声振动加工装置，其特征在于，还包括压力传感器、精密微三维运动平台；

所述精密微三维运动平台上方设置压力传感器，所述的压力传感器正对着超声振动加工装置；

所述的压力传感器通过数据采集系统与计算机相连；

所述的精密微三维运动平台通过运动控制系统与计算机相连。

2.如权利要求1所述的基于恒力控制的超声振幅测量装置，其特征在于，所述精密微三维运动平台中X轴、Y轴与Z轴的最小分辨率都不大于0.1微米。

3.如权利要求1所述的基于恒力控制的超声振幅测量装置，其特征在于，所述超声振动加工装置包括立式滑台、超声振动系统、主轴、超声电源、夹头、工具头，所述的工具头通过夹头固定在超声振动系统上，超声振动系统固定在主轴上，主轴固定在立式滑台上，所述的立式滑台驱动主轴上下运动，超声电源与超声振动系统相连。

4.如权利要求1所述的基于恒力控制的超声振幅测量装置，其特征在于，所述超声振动加工装置包括立式滑台、主轴、夹头、工具头、超声振动工作台、超声电源，所述的工具头通过夹头固定在主轴上，主轴固定在立式滑台上，所述的立式滑台驱动主轴上下运动，所述的超声电源与超声振动工作台相连，所述的超声振动工作台正对着主轴固定在所述的压力传感器上。

5.如权利要求1所述的基于恒力控制的超声振幅测量装置，其特征在于，所述超声振动加工装置为超声振动加工装置或者微细超声振动加工装置。