[实用新型]一种用于喷涂石英埚涂层的装置

权利要求书

1.一种用于喷涂石英埚涂层的装置，包括用于喷涂涂层溶液的喷枪（5）；其特征在于：还包括用于放置石英埚（2）的埚托（1）和用于调整石英埚（2）内壁喷涂高度的托盘（3）；托盘（3）为圆形，并且托盘（3）的上表面上设有多个用于吊住托盘并挂在石英埚（2）上边沿的挂钩（4）。

2.根据权利要求1所述的一种用于喷涂石英埚涂层的装置，其特征在于：所述多个挂钩（4）沿着托盘（3）的边缘周向均匀分布，并且挂钩（4）的数目为三个。

3.根据权利要求1所述的一种用于喷涂石英埚涂层的装置，其特征在于：所述托盘（3）的直径略小于石英埚（2）上部筒形埚体的内径。

4.根据权利要求1所述的一种用于喷涂石英埚涂层的装置，其特征在于：所述挂钩（4）包括钩头（4-1）和螺杆（4-2）；螺杆（4-2）的底部与托盘（3）固定联接，钩头（4-1）穿在螺杆（4-2）的顶端且可沿螺杆（4-2）上下滑动，在螺杆（4-2）上且位于钩头（4-1）的上方还设有螺母（4-3）。

5.根据权利要求4所述的一种用于喷涂石英埚涂层的装置，其特征在于：所述螺杆（4-2）垂直于托盘（3），并且螺杆（4-2）的轴心至托盘（3）外边沿的距离大于螺杆（4-2）的半径。