[实用新型]硅片承载装置、硅片运输装置和硅片印刷设备

权利要求书

1.一种硅片承载装置，其特征在于，包括：

承载部（10），包括用于承载硅片的承载平面（100）；

加热装置（20），设置在所述承载部（10）内或所述承载部的一侧以对位于所述承载平面（100）上的所述硅片进行加热。

2.根据权利要求1所述的硅片承载装置，其特征在于，所述承载部（10）包括承载板（11），所述承载板（11）的一侧形成所述承载平面（100），所述加热装置（20）设置在所述承载板（11）的与所述承载平面（100）相对的另一侧。

3.根据权利要求2所述的硅片承载装置，其特征在于，所述承载部（10）还包括腔体（12），所述加热装置（20）设置在所述腔体（12）内。

4.根据权利要求3所述的硅片承载装置，其特征在于，所述承载板（11）上开设有多个气孔（111）。

5.根据权利要求4所述的硅片承载装置，其特征在于，所述硅片承载装置还包括气泵，所述气泵的吸气端与所述腔体（12）连接。

6.根据权利要求1所述的硅片承载装置，其特征在于，所述硅片承载装置还包括隔热部，所述隔热部沿所述承载平面（100）的周向设置在所述承载部（10）的四周。

7.根据权利要求1所述的硅片承载装置，其特征在于，所述硅片承载装置还包括底座（30）和支柱（40），所述支柱（40）的一端与所述底座（30）连接，所述支柱（40）的另一端与所述承载部（10）连接。

8.根据权利要求2所述的硅片承载装置，其特征在于，所述加热装置（20）包括电热丝（21），所述电热丝（21）与所述承载板（11）间隔地设置。

9.一种硅片运输装置，包括硅片承载装置和用于驱动所述硅片承载装置的驱动部，其特征在于，所述硅片承载装置是权利要求1至8中任一项所述的硅片承载装置。

10.一种硅片印刷设备，包括印刷头和硅片运输装置，其特征在于，所述硅片运输装置是权利要求9所述的硅片运输装置。