[实用新型]曝光装置有效
| 申请号： | 201320719313.3 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN203811983U | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 王相钦 | 申请（专利权）人： | 意力（广州）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 谢伟;黎坚怡 |
| 地址： | 510663 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种曝光装置，包括上台框，其特征在于，还包括吸附装置，所述吸附装置为双面粘贴件，所述双面粘贴件呈条状，所述双面粘贴件粘在所述上台框上，所述双面粘贴件在所述上台框上布置两条，两条所述双面粘贴件之间的距离小于放置在曝光装置下台板上的曝光材料的宽度。
2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述双面粘贴件的两面粘接强度不同，与上台框粘接的双面粘贴件的所在面粘接强度大于双面粘贴件的另一面的粘接强度。
3.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述双面粘贴件包括双面胶、保护膜，所述保护膜的一面为粘接面，所述保护膜的另一面与所述双面胶连接在一起。
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