[实用新型]玻璃基板蚀刻槽

权利要求书

1.一种玻璃基板蚀刻槽，其包括壳体，该壳体包括侧壁及底部，该底部及侧壁配合围成顶部具有开口的收容腔用以承载蚀刻液，其特征在于：该收容腔内还铺设有进液管道，该进液管道邻近壳体底部铺设，该进液管道面向开口的一侧设置有第一喷口，蚀刻液经由进液管道的第一喷口进入收容腔，玻璃基板由该开口进入收容腔，并限位在进液管道面向开口的一侧以进行蚀刻。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于：该收容腔内还铺设有曝气管道，该曝气管道铺设在该进液管道面向开口的一侧，该曝气管道面向该开口的一侧设置有第二喷口，玻璃基板蚀刻槽通过曝气管道的第二喷口向收容腔内通入气体，玻璃基板限位在曝气管道面向开口的一侧以进行蚀刻。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于：玻璃基板夹持限位在一玻璃基板承载装置内，并通过该玻璃基板承载装置的夹持限位并竖立在曝气管道面向开口的一侧。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于：该玻璃基板承载装置包括相对设置的二第一侧板及二相对设置的第二侧板，该第二侧板与第一侧板垂直相连围成一收容空间，该玻璃基板限位并竖立在该收容空间内，该进液管道和曝气管道对应该收容空间铺设并向该玻璃基板承载装置的收容空间喷入蚀刻液和气体。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于：该壳体的收容腔内还设置有一底板封板，该底板封板架设固定在壳体的底板并位于该进液管道面向壳体底板的一侧，且位于该进液管道和曝气管道下方的底板封板对应该玻璃基板承载装置的收容空间设置。

6.根据权利要求2所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于：该进液管道和曝气管道的延伸方向互相垂直。

7.根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于：该壳体侧壁邻近该开口一侧设置有溢流口，用以使得过多之蚀刻液可由该溢流口排出。

8.根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于：该壳体的底部设置有排液口，用以使得在蚀刻完成后可由该排液口抽出蚀刻液。

9.根据权利要求8所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于：该壳体的底部为倒椎体状，该排液口设置在底部之椎体的尖端处。