[实用新型]一种硅片退火的石英杯乘具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶硅片加工领域，特别指一种硅片退火的石英杯乘具。

背景技术

现有单晶硅片一般使用石英杯盛装后进行退火，在退火后，在取出时由于单晶硅片和石英杯的温度过高，取出时容易烫到。石英杯横截面为半圆形易发生掉落，而造成石英杯和单晶硅片的损坏，同时每次取石英杯时只能取一个，耗时耗力。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题，在于提供一种硅片退火的石英杯乘具，解决石英杯取出不方便，耗时耗力的问题。

本实用新型是这样实现的：

一种硅片退火的石英杯乘具，所述石英杯乘具包括并排放置的四条长度相等的直角刚，所述的直角刚通过铁片焊接的方式固定在一起，直角刚的长度大于石英杯的长度，四条所述的直角刚在底面的边处于同一平面上，最外边两条直角刚的直角方向向内，里面的两条直角刚的直角方向都指向左侧，所述左侧相邻直角刚的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度，所述右侧相邻直角刚的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度。

进一步地，所述石英杯乘具的前端具有通孔。

进一步地，所述石英杯乘具的后端上面设置有垂直于直角刚的阻挡件。

本实用新型的优点在于：可以方便地取出石英杯，避免烫伤。

附图说明

下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，一种硅片退火的石英杯乘具，所述石英杯乘具包括并排放置的四条长度相等的直角刚1，直角刚1通过铁片焊接的方式固定在一起，直角刚1的长度大于石英杯的长度，四条直角刚1在底面的边处于同一平面上，最外边两条直角刚1的直角方向向内，里面的两条直角刚1的直角方向都指向左侧，左侧相邻直角刚1的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度，右侧相邻直角刚1的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度。由于左侧相邻直角刚的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度，则石英杯可以正好地放置在左侧两个直角刚之间，同样道理，石英杯也可以正好地放置在右侧两个直角刚之间，本实用新型可一下承载两个石英杯。由于中间（即里面而非最外边）的两条直角刚的直角方向都指向一侧，则这两条直角刚垂直于底面的边具有一定间距，从而使得放置的两个石英杯不会互相拥挤、触碰。使用本实用新型时，可一次承载两个石英杯，并且不易滑落。而且直角刚退热快，不易烫伤。直角刚长度设置大于石英杯长度15cm-25cm为宜，可方便双手握持，又不至于过多占用地方。

为了方便本石英杯乘具从退火炉中拿出，本石英杯乘具的前端具有通孔2。当要从退火炉中取出本石英杯乘具，只需哪个铁钩勾住这个通孔即可，而后往外拉即可。通孔2的直径优选为10mm或13mm，方便钢钻加工。

为了避免石英杯在本本石英杯乘具上滑动，石英杯乘具的后端上面设置有垂直于直角刚的阻挡件3。阻挡件3可以采用直角刚。

以上所述实施方式，只是本实用新型的较佳实施方式，并非来限制本实用新型实施范围，故凡依本实用新型申请专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均应包括本实用新型专利申请范围内。